株式会社マツボー

高機能フィルム製造用ロールコーター

スパッタ・ＣＶＤ・蒸着の複合機

他社との違いは、ＢＯＣ社とのライセンスにより、回転式カソード（ターゲット使用効率７０％）とＳｉＯｘ（Ｃ）フィルムを特殊なＣＶＤによって成膜可能です。またラインスピードを２０００倍まで可変可能です。

ポリパラキシレン蒸着成膜装置

ポリパラキシレン成膜に特化した装置です。メーカは35年以上、ヨーロッパでポリパラキシレン成膜及び装置販売を行ってきました。

本製品は、密着性よくパリレンを成膜できる装置です。研究やR&Dだけでなく、量産にも対応できる装置を販売しております。また、装置の販売実績は50台を超えており、生産ラインで既に使用されております…

粒子用 ALD （原子層堆積）装置 / FORGE NANO社

粒子専用のALD（原子層堆積 Atomic Layer Deposition）装置　 ナノスケールの粒子を成膜できます。

研究開発向け粒子用ALD（原子層堆積）装置で様々な開発用途に活用できます。ナノスケールの粒子の成膜をミリグラムからキロまでプロセス可能です。　 ■流動床を含めた手法により膜厚を均一にコントロール …

PlasmaMAX Hollow Cathode プラズマCVD

最高品質を保ちつつ、基板幅と成膜速度を最大化することで、大量生産プロセスの最適化ができるように設計されています。

この技術により、バリア成膜品、光学多層膜製品、機能性繊維、ディスプレーの製造や、一連の関連するカスタムアプリケーションを最適化することができます。 PlasmaMAX ホローカソード は、形状をカス…

複合型PVDコーティング装置

アークイオンの三ソースをひとつのチャンバー内に搭載！複合型イオンプレーティング装置をご提案

ISYS社 複合型PVDコーティング装置は、仕様に応じて、チャンバー寸法、ソース数等を設計します。HCD搭載アークイオンプレーティング装置では、成膜源の複合搭載（HCD【ホロカソード】＋ＡＩＰ【アーク…

ITOターゲット研磨代行サービス

指定ターゲットのノジュール研磨を代行！ITOやインジウム化合物などのターゲットに

インジウム化合物、コバルト及びその無機化合物、これらを重量の1％を超えて含有する製剤その他を製造し、または取り扱う作業全般が規制の対象になります。