真空蒸着装置
■抵抗加熱タイプ
コンパクトさと使い勝手の良さにこだわった真空蒸着装置です。
■電子ビームタイプ
高融点金属や化合物の蒸着に適した装置です。
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コンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」
ターゲットは3種類同時に装着可能!多層膜を作製することが可能です。
マルチコンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」は、低真空領域において、マグネトロンカソードを用いた直流放電によりプラズマを発生させ、プラズマ中のイオンによってカソードに装着した金属…
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