応用露光装置
応用露光装置です
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解像力とアライメント精度を高め、量産プロセスに対応。UV-LED光源を採用し、ランニングコストを低減
『CMS（Cerma Micro Stepper）-Ck』は、650×550mmの フルサイズ基板に対応した、微細パターン露光が可能な投影露光装置です。 標準光源として、UV-LED光源を採用…
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水銀ランプの代替に！各種光学仕様に対してカスタマイズ可能。
露光機用 UV-LED光源『ULA シリーズ』は、露光機用ののUV-LEDランプです。 【特長】 ■ 各種光学仕様に対してカスタマイズ可能 ■ 波長：365nm, 385nm, 405nm各…
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