株式会社キッツエスシーティー

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新型 PFA溶着機『PFMシリーズ』

タッチパネルで簡単操作！機能性、操作性ともにパワーアップしたPFA溶着機

『PFMシリーズ』は、作業性向上やワイドな施工範囲、使いやすさなど従来の仕様を踏襲しつつ、新規ヒーター、安全対策のためのボタンオプション等、新機能を搭載し、溶着品質、耐久性、操作性、安全性が向上して…
『事例』プラズマや熱によるセンターリングの劣化対策　無料進呈中

真空配管設備の不安を解消！プラズマや熱によるセンターリングの劣化対策の事例を進呈中

製品使用例のご紹介です。・プラズマCVD装置によるプラズマや高温排気の影響で配管接続に使用しているフッ素ゴムO-リングが劣化してしまう。・高価なセンターリングを採用しているが、コストが高く困っ…
『事例集』固体材料供給における高温化の課題への提案※無料進呈中

半導体材料メーカー様　必見！固体材料供給における高温化の課題への提案の事例を進呈中

250℃の供給プロセスでオールメタルバルブを使用しているが、耐久回数に不満がある。 200℃の供給プロセスでシート交換できないバルブを使用しているため、バルブを交換しなければならず、ランニングコスト…
高温対応・PFAシート部脱着可能なダイヤフラムバルブ

材料容器・半導体製造プロセスに適した、高純度ガス系バルブ。シート部脱着交換可能かつ、最高250度までの高温環境下で使用可能。

高純度ガス系バルブ『ZDシリーズ』『ZD-Kシリーズ』（高温リプレイサブルバルブ）は、シート部脱着交換可能かつ、高温環境下で使用可能なダイヤフラムバルブです。【特長】 ■お客様自身でバル…
高温対応ダイヤフラムバルブ『ZDシリーズ』『ZDーKシリーズ』

高純度ガス系バルブ ZDシリーズ、ZD-Kシリーズは、シート部脱着交換可能かつ、高温環境下で使用可能なダイヤフラムバルブです。

高純度ガス系バルブ ZDシリーズ、ZD-Kシリーズ（高温リプレイサブルバルブ）は、シート部脱着交換可能かつ、高温環境下で使用可能なダイヤフラムバルブです。お客様自身でバルブシート交換が可能！ …
『事例』分解洗浄を可能としたダイヤフラムバルブ ※無料進呈中

『流路まるごと事例集』半導体材料メーカー様　必見！分解洗浄を可能としたダイヤフラムバルブの事例を進呈中

材料容器（キャニスター）に使用したバルブをクリーニングするが、内部に汚れが残ってしまう。バルブが溶接されたキャニスターはバルブとキャニスターの両方を交換しなければならず、ランニングコストがかさんで…
『事例集』半導体製造用バルブのヒューマンエラー対策※無料進呈中

【特に人気のある3事例をまとめて進呈中！】「バルブを変える」ことでトラブル発生率低下も。作業者を危険から守る安全対策のヒント集

キッツグループの一員である当社ＫＩＴＺＳＣＴは半導体製造工程用のバルブ・配管部材を20年以上製造・販売しております。今回は半導体製造工程でのヒューマンエラー事例と対策をご紹介。特に人気の…
『事例』　高温・ALDプロセスで使用可能なバルブ ※無料進呈中

『流路まるごと事例集』バルブ全体を最高200℃ の高温環境で使用できるＰＦＡ樹脂シートのダイヤフラムバルブの事例を進呈中

バルブ全体をヒーティングしたい、ハンドルを付けたまま恒温槽に入れられるバルブ、ガス量の安定と再現があるバルブ欲しいなど、お困りごとはありませんか？ KITZ SCT では半導体製造での流体関連の…
『事例』　手動ダイヤフラムバルブの安全対策 ※無料進呈中

『流路まるごと事例集』ワイヤーや錠の取付け不要！ヒューマンエラーによるバルブの誤作動を防止するロック付きバルブの事例を進呈中

バルブの誤作動対策はしたいが、ワイヤーや錠をつけると操作性が低下してしまう。緊急時は簡単に操作できるが誤作動対策のロック機能が備わったバルブはないか KITZ SCT では半導体製造での流体関連…
『事例』　隣接装置の振動による継手緩み防止対策 ※無料進呈中

隣接装置の振動対策に。継手の緩みをしっかりサポート。安全対策の事例を進呈中

ポンプの防振システムやフレキ配管といった基本的な対策をしていても、隣接装置の振動により継手が緩んでしまう、といった課題はありますか。 KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざ…
『事例』　原料容器接続継手の安全対策 ※無料進呈中

容器輸送時のリスクに先手を打つ。安全対策の事例を進呈中

"出荷時に原料容器に付属するバルブが閉まっていることを確認していたが、輸送時の振動により継手が緩んでしまった、といった課題はありますか。 KITZ SCT では半導体製造での流体関連の…
『事例』半導体製造装置　排気系ラインの省スペース化 ※無料進呈中

デバイスメーカーの求める装置の価値基準とは？　KITZSCTは排気系ラインの省スペース化設計/施工性向上をお助けします。

"貴重な設計時間をレイアウト検討に取られていませんか？メイン配管の大口径化に伴ないレイアウト設計は複雑化しています。また各種要件が厳しくなっており、施工性やメンテナンス性を考慮した配管設計が…
『事例』ヒューマンエラーによるバルブ誤操作対策 ※無料進呈中

『流路まるごと事例集』錠やタグ付きワイヤーでバルブをロック！バルブ誤操作対策の事例を進呈中

忙しい時や、普段行わない操作が発生した場合などではオペレーションミスが起こりがちです。作業者の心理的負担を減らすことでヒューマンエラーによる事故を防ぐ事例をご紹介します。 KITZ SCT では…
『事例』装置輸送時のバルブハンドル緩み防止対策 ※無料進呈中

『流路まるごと事例集』半導体ガス供給装置輸送時のリスクに先手を打つ。安全対策の事例を進呈中

出荷時に装置に付属するバルブが閉まっていることを確認していたが、輸送時の振動によりバルブハンドルが緩んでしまった。バルブハンドルに鍵をつけて管理しているものの作業者の鍵開け作業に時間がかかっている、な…
『流路まるごと事例集』原料容器用バルブの安全対策 ※無料進呈中

半導体原料容器輸送時のリスクに先手を打つ。安全対策の事例を進呈中。

出荷時はしっかり閉まっていた原料容器バルブが、輸送時の振動により緩んでしまう、ハンドルが半開しているのに気づかずに作業者がキャップやプラグを外してしまったなど、原料容器輸送時における緩み防止、…
『事例』ガス供給ラインバルブの安全対策 ※無料進呈中

『流路まるごと事例集』バルブ半開によるヒヤリハット事例がある方、狭所での閉止確認にお困りの方必見！安全対策の事例を進呈中。

バルブを閉止したつもりが実際には半開状態だった、バルブの閉止の確認や作業に手間や時間がかかる、といったお悩みはありませんか？ KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案…
『流路まるごと事例集』排気ラインの副生成物対策 ※無料進呈中

除害装置前段やCVD排気ラインの副生成物対応にお困りの方必見！高温（180℃）バルブで副生成物を抑制した事例を進呈！

大手バルブメーカーKITZグループの一員である当社は、⽇々進化するエレクトロニクス産業おいてタイムリーな提案こそがお客様にとっての価値と考え、新製品開発とサービス向上に取り組み、お客様と共に成⻑を⽬指…
開閉表示用磁気近接スイッチ

IVBシリーズ用！バルブの開閉状態を検知する磁気近接スイッチのご紹介

当社が取り扱う『開閉表示用磁気近接スイッチ』をご紹介します。「IVB」「IVBL」「IVBH」シリーズのエアーシリンダー式バルブ（NC・NO・DA）は、バルブの開閉状態を検知する磁気近接ス…
角型真空ゲートバルブ『UXG/LGシリーズ』

Max180℃まで任意の温度に設定可能！メンテナンス期間を大幅に延長できます

『UXG/LGシリーズ』は、半導体真空装置の反応炉とトランスファーチャンバー間の仕切りを行うために開発した角型のゲートバルブです。ボディはアルミニウム製で、複動式エアーアクチュエーターによ…
樹脂溶着継手『TBNシリーズ』

漏れなし・クリーン・軽量コンパクトな樹脂製溶着継手！　配管スペースを大幅に縮小、スリーブを真っ直ぐ挿入しやすく施工ミスを防ぎます

『TBNシリーズ』は、漏れなし・クリーン・軽量コンパクトな樹脂溶着継手です。接続部内面に摺動部分がなくパーティクル特性に優れ、継手とチューブの端面つきあわせ溶着による完全シールのため、 …
APCバタフライバルブ『PCAシリーズ』

チャンバー内を汚染しにくい構造！Oリングへのストレス低減、高い耐久性能を実現

『PCAシリーズ』は、バルブ開閉、スロー排気、調圧が可能なバルブです。新開発のシートリング機構が、フラッパーに取り付けられたO-RINGのねじれや脱落の問題を解消。また、フラッパーシール部…
真空バタフライバルブ『IVWFシリーズ』

半導体真空装置の真空排気ラインに設置できるシンプルな構造を持ったバタフライバルブ！

『IVWFシリーズ』は、半導体真空装置の真空排気ラインに設置できるシンプルな構造を持った遮断弁です。シンプルな構造により、コンパクト化と軽量化を行ったことを特長とし、バルブ取り付け作業…
デジタル温度コントローラー『IVBH-C015』

内部・外部ヒーターを同時に加熱可能！IVBH用PID制御デジタル温度コントローラー

『IVBH-C015』は、L型真空ベローズシールホットバルブ用のデジタル温度コントローラーです。当製品1台で、内部ヒーター・外部ヒーターの2チャンネルのヒーターを同時に加熱することが可…
WET系樹脂バルブ『FCDT』（200℃対応高温樹脂弁）

自動弁はインジゲータ（開閉表示）を標準装備！　手動弁はLOTO（鍵）機構付で安全対策にも使用可能

『FCDT』は、200℃流体に対応できるWET系バルブです。自動弁はインジゲータ（開閉表示）を標準装備しており、手動弁はLOTO（鍵）機構付で安全対策にも使用可能。また、手動弁は3…
WET系樹脂バルブ『FCDNシリーズ』

クリーンで使いやすいWET系バルブ！特殊機能付きや200℃対応高温樹脂弁などをご用意

『FCDNシリーズ』は、クリーンで使いやすく、逆圧に対しても高い封止性能があるバルブです。超高純度流体に対応したフッ素樹脂製の「手動弁・自動弁手動」をはじめ、全開流量を任意に設定できる…
真空フランジボールバルブ『BRWシリーズ』

NWフランジ接続のボールバルブです。最高流体温度200℃まで使用可能！

『BRWシリーズ』は、分解・洗浄・パッキン類の交換が可能な真空フランジボールバルブです。手動弁と自動弁をご用意。ボールシートに耐久性・耐熱性に優れたハイパタイトPTFEを使用して…
WET系バルブ『FCDNシリーズ流量調整＋バイパス付自動弁』

流量設定、エア駆動開閉、バイパス流路の確保など1台3役の複合弁！

WET系樹脂バルブ「FCDNシリーズ」はクリーンで使いやすく、逆圧に対しても高い封止性能があるバルブです。『流量調整＋バイパス付自動弁』は、流量設定、エア駆動開閉、バイパス流路の確保な…
WET系樹脂バルブ『FCDNシリーズバイパス付自動弁』

バイパス弁開度の調整で節水も可能！バルブ閉時にも流体の滞留を防ぎます

「FCDNシリーズ」はクリーンで使いやすく、逆圧に対しても高い封止性能があるバルブです。『バイパス付自動弁』は、バルブ閉時にもバイパス流路により流体の滞留を防ぎ、バイパス弁開度の調整で…
WET系樹脂バルブ『FCDNシリーズ流量調整付自動弁』

全開流量を任意に設定可能！クリーンで使いやすい自動弁のご紹介

「FCDNシリーズ」はクリーンで使いやすく、逆圧に対しても高い封止性能があるバルブです。『流量調整付自動弁』は、全開流量を任意に設定可能。バルブサイズは1/4"、3/8&…
液だれ防止　WET系樹脂バルブ『FCDシリーズサックバック弁』

ノズル先端からの液だれを防止！塗布工程や薬液充填工程等で、定量精度の向上に役立ちます

当製品は、流体を停止した時にノズル先端からの液だれを防止するサックバック機能付バルブです。サックバック機能のみの「サックバック弁単弁」と、液体のON/OFF、サックバック機能の「サック…
WET系樹脂バルブ『FCDシリーズ自動バイパス弁付自動弁』

緊急時はバイパス弁も自動で遮断可能！薬液充填ラインなどで省スペース化に役立ちます

当製品は、バイパス弁もエアー駆動により、自動で開閉が可能なバルブです。緊急遮断機能付きで、緊急時はバイパス弁も自動で遮断することが可能。大流量・小流量の切替を1台のバルブで可能にし、薬…
高温対応バルブ　SCVサブマージブルバルブ『TD-Sシリーズ』

高温環境(最高200℃)で多種多用なガスに使用可能な集積化ガスシステム対応のバルブ

『TD-Sシリーズ』は、独自の技術を取り入れ高温環境下で使用が可能な集積化ガスシステム対応のダイヤフラムバルブです。バルブ全体を最高200℃までの高温環境で使用できることにより効率の良…
ＡＬＤプロセス用高速高耐久バルブ『TDFシリーズ』

高速開閉・高い応答安定性！特殊面間寸法や弁形状、耐腐食性材料ボディなど対応可能

『TDFシリーズ』は、ＡＬＤ（原子層堆積）プロセスに必要な高速開閉、高耐久、耐食性、耐熱性、Cv安定性を兼ね備えた高純度ガス対応ダイヤフラムバルブです。アクチュエータへの熱伝導を低減する構造を…
継手緩み防止『ロックアシスト CVC-LCシリーズ』

当社独自の構造による確実な締結力！配管施工後でも脱着が可能な使いやすさを追求した継手のご紹介

『ロックアシスト CVC-LCシリーズ』は、ボルト1本で締結する構造となっており、配管施工後でも脱着が可能な継手です。ボルト締結時、継手が締まる方向に回転する当社独自の構造により、取付…
ベローズバルブ『IB』

デッドスペースを小さくしパージ時間の短縮化を実現！ストレートタイプのベローズバルブ

『IB』シリーズは、ダイヤフラムバルブと比べ、高いCv値を持つことにより設備の供給ラインなどの多くの流量を必要としたユースポイントで性能を発揮するベローズバルブです。ガス供給系だけでな…
【ニードルバルブ】流量調整ニードルタイプ

正確に微少な流量を設定可能！耐熱性に優れた高温・高耐食仕様のニードルバルブ

当製品は、高温・高耐食仕様のニードルバルブです。ニードル部の超精密加工および、バックラッシュ（ギアやネジ噛み合わせの後方にできる隙間、揺り戻し）が出ない構造の為、正確に微少な流量を設定…
【ベローズバルブ】可変流量バリアックタイプ

全開流量を任意に設定できるベローズバルブです。配管レイアウトの簡素化、及び省スペース化、コストの削減が可能！

当製品は、全開流量を任意に設定できるベローズバルブです。アクチュエーター上部ローレット付黒ハンドルを回転させることにより、流量調整可能となり1台で自動弁とニードルバルブの2台の特性を持ちま…
加圧真空弁

高純度ガス用ベローズバルブ「SBBシリーズ」に真空用KFフランジ接続タイプをラインアップ！

当製品は、真空用KFフランジ接続タイプのベローズバルブです。高純度ガス用・真空用各種バルブをラインアップする当社の特長を生かし、技術・ノウハウを融合させた加圧から真空までワイドレンジに …
高純度液ガス用ダイヤフラムバルブ『WD』

半導体製造用の高純度液体材料に対応可能！ダイヤフラムバルブの高性能特性を持ったバルブ！

『WD』は、半導体や液晶装置で使用されるTEOS等の高純度液体材料を流体として使用できるダイヤフラムバルブです。バルブの基本特性、パーティクル性能やパージ特性を維持しながら、シート（A…
石英管対応　接続継手『SQ』

取り付けや取り外しを繰り返しても、信頼性の高い優れたシール性能を常に実現！安全で再現性のある石英管対応継手

『SQ』は、石英チャンバー・リアクターにお使いいただける、安全で再現性のある接続継手です。ナット締め付けによるOリングの供回り防止と、Oリングの抜け止めとして、フッ素樹脂コーティングワ…
自動溶接継手『SCL』

マニホールド配管施工の際、単管が不要！作業工数が減少する自動溶接用継手

『SCL』は、直管部が長いタイプの溶接継手です。電解研磨処理により面粗さをRz0.7μm以下で実現。直管部が長くマニホールド配管施工の際、単管が不要になる為、作業工数が減少（溶接箇…
自動溶接継手『SCM』

素材には超高純度配管用2重溶解材をオプションとして採用！コンパクトな溶接継手

『SCM』は、直管部が短いタイプの溶接継手です。形状がコンパクトなため、配管の省スペース化が可能。接続端は自動溶接に適したネック付で、放出ガスを抑えるために素材には超高純度配管用2…
自動溶接継手『SCF』

各接続端は自動溶接に適したネック付！高純度ガス供給用の溶接継手

『SCF』は、パイプ材から製造し、内面研磨したクリーンな溶接継手です。放出ガスを抑えるために素材には超高純度配管用2重溶解材をオプションとして採用し、電解研磨処理により面粗さをRz0.7μ…
ベローズバルブ『SBB』

コンパクトでかつ高Cv値・耐久性を兼ね備えたパイプサイズのベローズバルブ！

『SBB』シリーズは、コンパクトな設計でありながら高いCv値と耐久性能を持った供給ラインで使用することを前提とした、パイプサイズのベローズバルブです。エア供給口を頭部に設定することで、…
高純度ガス系　リプレイサブルシートバルブ『KD-E』

シートとダイヤフラムを交換可能なダイヤフラムバルブです。バルブを頻繁に交換・洗浄する用途に好適！ランニングコストの低減を実現

『KD-E』シリーズは、「KD」シリーズをベースにシートとダイヤフラムを脱着交換可能な構造として、ランニングコストの低減を実現するダイヤフラムバルブです。シートとダイヤフラムの交換によ…