株式会社キッツエスシーティー 高温対応バルブ SCVサブマージブルバルブ『TD-Sシリーズ』
- 最終更新日：2023-05-12 13:52:28.0
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高温環境(最高200℃)で多種多用なガスに使用可能な集積化ガスシステム対応のバルブ
『TD-Sシリーズ』は、独自の技術を取り入れ高温環境下で使用が可能な
集積化ガスシステム対応のダイヤフラムバルブです。
バルブ全体を最高200℃までの高温環境で使用できることにより
効率の良いヒーティングが可能。
流量の再現性が求められる原子層堆積（ALD）プロセスのプリカーサ
（前駆体）供給に適しています。
【特長】
■高温環境に対応
■安定したCv値
■PFAシートの採用
■多種多用なガスに使用可能
■高耐久
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報高温対応バルブ SCVサブマージブルバルブ『TD-Sシリーズ』
【その他の特長】
■自動弁
・ジャケットヒーター取付の最適化を考慮したデザイン
■手動弁
・LOTO（Lock-Out、Tag-Out）機構搭載
・開閉状態が目視可能な耐熱仕様のハンドルデザイン
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ高温対応バルブ SCVサブマージブルバルブ『TD-Sシリーズ』
取扱企業高温対応バルブ SCVサブマージブルバルブ『TD-Sシリーズ』
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・半導体製造装置および周辺機器用配管部材、ガスパネル、ユニット類の 開発製造および販売。 ・各種超高純度流体用配管部材およびユニット類の開発製造および販売。 ・上記項目に付帯する一切の業務。
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