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      • ベルヌーイピンセット(50μm超薄ガラス用) 製品画像

        ベルヌーイピンセット(50μm超薄ガラス用)

        50μm超薄ガラス・超薄ウエハを非接触にて搬送するピンセット

        気体を噴出することにより非接触にてウエハを搬送するベルヌーイチャックにバルブの付いた取っ手を付け、ピンセットのように手操作によるバルブ操作により、ウエハ、チップを非接触にて所定の場所に搬送する非接触ピ…

      • SRLフロートチャックPF型 製品画像

        SRLフロートチャックPF型

        プリフォームレンズを非接触把持し、プレス金型に投入・取り出します。

        プレス前後のプリフォームレンズ移載装置「SRLフロートチャックPF型」は、プリフォームレンズをプレス成形にて製作時に、プレス機より完全非接触にて取り出す装置です。 空気を噴出することによりエゼクタ効果…

      • Φ300mm高屈折率ガラスウエハ用非接触ピンセット 製品画像

        Φ300mm高屈折率ガラスウエハ用非接触ピンセット

        Φ300mm高屈折率ガラスウエハ用非接触ピンセット

        φ300mm高屈折率ガラスウエハ撓ますことなく、ストレスをかけることなく、キズ、汚れを付着させることなくマニュアル操作によるピンセットにて非接触にて移載およびハンドリングする。

      • プロトスキャリア用 ウエハ非接触ピンセット 製品画像

        プロトスキャリア用 ウエハ非接触ピンセット

        プロトスキャリア用のウエハを傷を付けずに移載する非接触ピンセット

        『プロトスキャリア用 ウエハ非接触ピンセットは、薄ウエハ、反りのあるウエハを非接触にてプロストキャリアから取り出しまたは収納します。

      • フィルム送出、搬送、積層装置 製品画像

        フィルム送出、搬送、積層装置

        積層フィルムを1枚ずつ送り出し、搬送し、積み重ねる装置

        ◎特徴 偏光板・ガラス・ウエハ・フィルム・紙・布他シートを 1.積層したフィルムを1枚づつ送り出す。 2.先端部が垂れ下がることなく搬送する。 3.精度良く積層する。 4.キズ、汚れを付着さ…

      • 微小ウエハチップ非接触チャック 製品画像

        微小ウエハチップ非接触チャック

        1.0mmx1.0mm角ウエハチップを非接触にて掴むベルヌーイチャック

        □1.0mm〜15mm□微小ウエハチップを非接触にて把み搬送する微小チップ非接触移載装置「フロートチャックSA-□1.0型」を開発しました。この装置は、気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌー…

      • ガラス基板非接触搬送システム 製品画像

        ガラス基板非接触搬送システム

        ガラス基板を非接触にて搬送システム

        この度、新たに開発した「フロートチャックC型」シリーズはさらに、慣性力の効果を付加し、最大限活用するものである。気体噴出機構に新機構を採用しており、従来技術に比し格段に懸垂能力が増加し、気体消費量がほ…

      • 太陽電池・ソーラーウエハ非接触搬送装置 製品画像

        太陽電池・ソーラーウエハ非接触搬送装置

        太陽電池・ソーラーウエハ非接触搬送装置

        太陽電池ソーラーウエハ、シリコン太陽電池、アモルファス太陽電池、薄膜太陽電池セルを気体を空気を噴出することにより、太陽電池ソーラーセルを非接触にて搬送する。  ノズルより噴出する高速空気流が直接ソー…

      • グリーンシート非接触搬送装置「フロートチャックSAG型」 製品画像

        グリーンシート非接触搬送装置「フロートチャックSAG型」

        グリーンシートを空気で運ぶ

        セラミックグリーンシート非接触搬送装置「フロートチャックSAG型」は、気体を空気を噴出することにより、セラミックグリーンシートを非接触にて懸垂保持し、搬送します。 セラミックグリーンシート非接触搬送…

      • □2.0mmウエハチップ非接触チャック 製品画像

        □2.0mmウエハチップ非接触チャック

        微小□2.0mmICウエハチップを非接触にて掴みます。

         「微小□2.0mmウエハチップ非接触チャック」は、気体を噴出することによりミュウチップと本気底面に儲けたクッション室内部とチップに対向する作動面との間隙に負圧および正圧を発生させ微小2.0mm角IC…

      • 段積みされた太陽電池ウエハを1枚ずつ取り出し、供給する「太陽電池ウエハ枚葉供給装置」 製品画像

        段積みされた太陽電池ウエハを1枚ずつ取り出し、供給する「太陽電池ウエハ枚葉供給装置」

        段積みされた太陽電池ウエハを1枚ずつ取り出し、供給する「太陽電池ウエハ枚葉供給装置」

        段積みされている太陽電池ウエハを1枚ずつ、高速にて損傷させることなく送り出し、供給します。  積層された太陽電池の上部に設けられた当社開発の非接触搬送装置「フロートチャックSK型」(特許)より空気を…

      • フロートチャッくLNAS型 製品画像

        フロートチャッくLNAS型

        穴あきワーク・不織布・紙を掴み、搬送する

        ワークに向かって空気を噴出することにより、ベルヌーイ効果による負圧を発生し、ワークを非接触状態にてチャックし、把持搬送します。 スルーホール基板、セラミックグリーンシート、FPCプリント基板、柔軟…

      • 非接触ピンセットW型 製品画像

        非接触ピンセットW型

        ウエハを非接触にて掴むピンセット!非接触ピンセットW型

        ピンセットのように手で操作できる。 非接触にてウエハを掴み、搬送する。 キズ汚れを付着させない。

      • 非接触ピンセットT型 製品画像

        非接触ピンセットT型

        ウエハを手操作により非接触にて掴むピンセット

        手操作により非接触にてウエハを掴み、搬送する。 きず、汚れ、破損がない。

      • 非接触エンドエフェクター 製品画像

        非接触エンドエフェクター

        ウエハカセットローダ・アンローダ非接触ロボットハンド

         「非接触エンドエフェクター」は、気体を噴出することによりベルヌーイ効果により負圧を発生し、ウエハを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。  このハンドは薄く製作されていますので、キャリアー…

      • シート送り出し・搬送・積層装置 製品画像

        シート送り出し・搬送・積層装置

        くうきりゅうによりシーとを送り出し・搬送・積層する

        アモルファス太陽電池、偏光板、フィルム、シート、ウエハ、ガラス、紙等のシートを非接触搬送装置「フロートチャック」(特許)により積層したシートを1枚ずつ送り出し、先端部に垂れが生じないように搬送し、精度…

      • 気体垂直気体噴流方式のベルヌーイチャック 製品画像

        気体垂直気体噴流方式のベルヌーイチャック

        空気噴流によりワークを非接触にて懸垂搬送! ベルヌーイチャック

        新機構「気体垂直噴流方式」を採用しております。、気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従…

      • レンズ・球を非接触にて搬送する「フロートチャックLE型」 製品画像

        レンズ・球を非接触にて搬送する「フロートチャックLE型」

        レンズ・球を非接触にてチャックし搬送するベルヌーイチャック「フロートチャックLE型」

        フロートチャックLE型は空気を噴出することによりレンズ・球を空中に浮遊した非接触状態にて懸垂保持し搬送します。  このためレンズ表面に傷を付けたり汚したりすることが無く、また発塵を防止いたします。…

      • 非接触チャック「フロートチャックSA型」 製品画像

        非接触チャック「フロートチャックSA型」

        空気消費量が従来の1/3のベルヌーイチャック

        非接触にてワークを搬送する。 空気消費量が従来の1/3である。 保持力が強力である。 保持安定性に優れている。

      • 微小レンズ゛ベルヌーイチャック 製品画像

        微小レンズ゛ベルヌーイチャック

        微小レンズを非接触にて搬送する。

        カメラ付き携帯電話のレンズ、デジタルカメラ、医療用カメラ、工業用小型カメラの微小レンズを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持し、搬送します。傷、汚れを付着させません。

      • 高温ウエハ用非接触ピンセット 製品画像

        高温ウエハ用非接触ピンセット

        高温のサセプターからウエハを非接触にて取り出す耐熱仕様のピンセット

        CVD装置による半導体ウエハのエピタキシャル成膜後のサセプター上の高温ウエハを、気体を噴出することにより非接触によりウエハを懸垂保持し搬送する「フロートチャック」に手動バルブの付いた取っ手を装着し、ピ…

      • 気体垂直噴流方式「非接触チャック」 製品画像

        気体垂直噴流方式「非接触チャック」

        空気でつかむ

        ●非接触にて吸引保持、搬送する。 ●きず、汚れ、パッド跡を付けない。 ●クリーンルームにて使用可能 ●通気性ワーク、穴あきワーク、極薄柔軟ワークも可能 ●手操作にても使用可能 …

      • 超薄反り板状体非接触チャック 製品画像

        超薄反り板状体非接触チャック

        超薄反りウエハを触らずにつかむ非接触搬送装置

        ◎特長 1.超薄反りウエハ・板状体を非接触にて把持、搬送 2.ウエハに損傷を与えない 3.汚れを付けない ◎ 適応 1.反りのあるウエハ 2.GaSaウエハ 3.極薄ウエハ 4.表面処…

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