整合器
負荷(マイクロ波の照射対象)に対して、マイクロ波を効率良く伝送させるために、負荷と発振源とのインピーダンスを整合させるための機器です。
導波管内の定在波を検出し、負荷のインピーダンスを算出した上で、自動で整合を行うタイプと、人間が反射メータを見ながらスタブ調整を行う手動タイプの2種類があります。
インピーダンス変動の大きいプラズマ負荷の場合には、自動整合器が必須と言えます。
可動短絡板は、プランジャー部分を導波管(基本的にストレート管)に挿入して伝送経路の終端に取り付け、定在波調整用の終端調整器として使用します。
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自動整合器『Piat-XX-CE/Piat-XX-2PM-CE』
独自の整合アルゴリズムにより高速整合を実現!高速・高精度のEH式自動整合器。最大6kW仕様で、高耐電力性!安心の国内産!
『Piat-XX-CE/Piat-XX-2PM-CE』は、独自の整合アルゴリズム (ダイレクト・マッチング)により、高速整合を実現したEH式自動整合器です。("XX"には出力が入…
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