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2020/01/28
UV-LED光源の露光装置(マスクアライナー)の販売を開始!
UV-LED光源の露光装置(マスクアライナー)の販売を開始しました。 光源波長:365nm(i線) 照度:0~80mW/cm2 照射径:φ160mm ウェハサイズ:MAX2~6インチ …
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UV-LED光源の露光装置(マスクアライナー)の販売を開始しました。 光源波長:365nm(i線) 照度:0~80mW/cm2 照射径:φ160mm ウェハサイズ:MAX2~6インチ …
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