掲載開始日：2013-04-22 00:00:00.0

小型スパッタリング装置を新製品に追加しました

小型スパッタリング装置

小型スパッタリング装置

実験用の小型スパッタリング装置です。
メインポンプはターボ分子ポンプを使用しています。
スパッタリングを行う成膜室と、成膜後に取り出す部屋をゲートバルブで仕切っています。基盤をセット後、真空中で自動搬送します。
ターゲットは３種まで取付可能です。基板は自動回転機構で、設定した順にターゲットの下に移動し、成膜します。

実験用小型スパッタリング装置

実験用小型スパッタリング装置製品画像

ターゲットを３種取付可能！真空中で基板を自動搬送します！

真空引きから基板の搬送、スパッタリングまでを自動で行います。小型設計ので、スペースを取らず実験装置として最適です。～特徴～・メインポンプはターボ分子ポンプを使用しています。・スパッタリングを行う成膜室と、成膜後に取り出す部屋をゲートバルブ　で仕切っています。基盤をセット後、真空中で自動搬送します。・ターゲットは３種まで取付可能です。・基板は自動回転機構で、設定した順にタ…

取扱会社

株式会社富士アールアンドディー

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