【半導体・電子・電気業界向けの資料「高性能チラーアプリケーションガイド」公開中】

【高性能チラー「PCU-SLシリーズ」の特長を活かした、半導体・電子・電気業界向けのアプリケーションガイドを公開しました】

本資料では、弊社の高性能チラー「PCU-SLシリーズ」を使用した
半導体・電子・電機業界向けのアプリケーションをご紹介しております。

真空蒸着装置やスパッター・エッチング装置、レーザー発振器の冷却などのアプリケーションにおける、
従来のさまざまな問題を高性能チラー「PCU-SLシリーズ」で解決いたします！

イラストも交えて分かりやすくご紹介しておりますので
ご興味のある方は、下記の関連カタログよりPDFをダウンロード、もしくはお気軽にお問合せ下さい。

【掲載内容】
■真空蒸着装置の冷却
■スパッタ・エッチング装置の冷却
■半導体デバイスのエージング試験装置の温度条件
■レーザー発振器の冷却
■薬液タンクの温調