その他半導体製造装置の製品一覧 （9ページ目）
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石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ)「薬液、純水削減に貢献」
縦型洗浄装置(VTCシリーズ)は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。世界トップクラスの納入実績(400台以上)
「HTC／VTC」シリーズは、拡散工程・CVD工程・アニール工程で使用される石英管の洗浄を目的とした石英管洗浄装置です。 【特徴】 ■石英管の形状・洗浄用途に合わせた装置ラインナップ ・6…
メーカー・取扱い企業： 株式会社渡辺商行
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多彩な先端形状に対応するオルテのコレット。独自で複雑な設計や加工も可能！
吸着コレットは多様な材質や形状に対応し、ピックアップツールとして利用されます。 ゴム、樹脂、金属、セラミックなど、要件に応じた素材を選択できます。 デバイスへの傷対策や吸着力向上に貢献し、交換が容…
メーカー・取扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社
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セパレーター・スリッター上刃下刃固定用ニューマチックシャフト
コアをクランプして巻くだけでなく、セパレーターディスクやスリッター用の上刃下刃の固定にも使用可能でセット作業の自動化にも貢献！！
セパレーターやスリッターでも弊社のシャフトが大活躍！！ セパレーターディスクやスリッター用の上刃・下刃の固定にも活用できます。簡単に位置調整ができ作業効率が大幅にUP！！また固定位置の調整を設備でも…
メーカー・取扱い企業： ニューマチック工業株式会社
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基板搬送用 オールインワンケース（アルポリケース）
生産状況に応じた各種基板を効率良く収納できる オールインワンケース ■□■特徴■□■ ■修理可能なため、半永久的に使用できる ■環境に優しい（エコマーク取得が可能） ■結露しにくい …
メーカー・取扱い企業： 株式会社ディー・アール・エス（DRS)
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微細ウェハバンプのフラックスレスリフロー装置 サンプルテスト対応 省エネ・短タクトプロセスを実現 リフロー動画掲載
高密度プラズマ（SWP）による強還元性H2ラジカルによりフラックスフリーのバンプリフローを実現。 フラックスの塗布・洗浄工程を削減。リフロー前後のウェット工程を削減。ウェット装置のスペース・処理・ユ…
メーカー・取扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』
リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置！
試作研究用『TWPmシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長 ・ 高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、 フレキ…
メーカー・取扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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ウェーハ搬送ロボット(FIロボット)OH修理、コントローラ修理
交換部品は純正部品を使用し、純正手順で検査致します。また、短納期でOH修理対応致します。
半導体製造装置で使用されているウェーハ搬送ロボット(FIロボット)のOH修理、コントローラの修理を対応しております。 ■交換部品は純正部品を使用し、純正手順で検査致します。 ■短納期でOH修理…
メーカー・取扱い企業： 株式会社渡辺商行
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薄板対応の除塵装置。 駆動部にマグネットギアを採用！この一台で幅広い基板厚に対応可となっております
『薄板対応タイプクリーンローラー』をご紹介いたします。 「RY-1106シリーズ」は、細径の新型クリーンロールを使用 することで、薄板やフイルムの除塵が可能になりました。 また、装置駆動…
メーカー・取扱い企業： 日精株式会社 本社
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【デモ機貸与可能！】浮上油分離から液中分離まで油水分離のお悩みを効果的に解決。
パーカーハネフィン(旧タイヨーテクノ)の油水分離装置は、油と水が混ざり合った液体から油を効果的に分離することができます。 CRS及びFOSシリーズの油水分離器は、様々なろ過技術で洗浄液をクリーンにし、…
メーカー・取扱い企業： 株式会社シー・エス・シー 本社、大阪支店、福岡出張所
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高速成膜ALD装置『FHR.STAR-400x300SALD』
In-Situのエリプソメーターや透過型分光器に対応！独FHR社製高速成膜ALD装置
『FHR.STAR-400x300SALD』は、200mmウェハあるいは 400x300mmまでの基板やテキスタイルの成膜に対応した 高速成膜ALD（Spacial ALD）装置です。 40…
メーカー・取扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社
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【防食性皮膜】時間と費用を節約！酸素とプロパンを燃料とするフレーム溶射装置
『MK73-FS』は、酸素とプロパンを燃料とするフレーム溶射装置で 優れた防食性皮膜を提供します。 軽量でバランスがとれた丈夫なガンは、速い溶射速度を提供し、 時間も費用も節約可能。 …
メーカー・取扱い企業： 株式会社澤村溶射センター
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バイオマス材料を使用し、環境負荷低減に貢献。優れた帯電防止・防炎効果を発揮
『アキレスバイオマスセイデンクリスタル』は、原材料の一部にバイオマス材料を使用した帯電防止防炎透明軟質PVCフィルムです。 バイオマス材料を使用することで石油由来材料の使用量を削減。 海洋プラ…
メーカー・取扱い企業： アキレス株式会社 化成品事業部フイルム販売部
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真空チャンバの到達圧力から、スパッタプロセス圧力までの広範囲（1～80amu）かつ高感度で分圧測定を実現。
プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』は、測定質量範囲1～80amuであり、2.0Pa以下（差動排気系不要）の圧力から測定可能な四重極型質量分析計です。 プロセス中のガス分圧を監視し、プロ…
メーカー・取扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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高速開閉・高い応答安定性！特殊面間寸法や弁形状、耐腐食性材料ボディなど対応可能
『TDFシリーズ』は、ＡＬＤ（原子層堆積）プロセスに必要な高速開閉、高耐久、耐食性、耐熱性、Cv安定性を兼ね備えた高純度ガス対応ダイヤフラムバルブです。 アクチュエータへの熱伝導を低減する構造を…
メーカー・取扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー
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超高温熱処理と優れた温度均一性の実現により、ブール・インゴット、ウエハのバッチ処理が可能であり、欠陥や転位を最小限に抑えます。
ワイドバンドギャップ半導体デバイスの歩留まりを向上するためには、応力に起因する欠陥や転位を最小限に抑える必要があります。その手法の一つとして、半導体結晶の超高温熱処理があります。c.CRYSCOO H…
メーカー・取扱い企業： 伯東株式会社 本社
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