マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－２０ＴＫ真空デバイス

電子顕微鏡向けタングステン薄膜のコーティング装置です。

マグネトロンスパッタ装置　ＭＳＰ－２０－ＴＫは電子顕微鏡試料に導電処理を施す為のタングステンコーティング装置です。マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にします。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

関連リンク - https://www.shinkuu.co.jp/sputtering-device/msp-20…

基本情報マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－２０ＴＫ

【主な特徴】
○電子顕微鏡向けタングステン薄膜のコーティング装置です。
○超高分解能ＳＥＭにおいて超高倍率の観察に活躍します。（２０万倍以上）
○試料傾斜・回転機構（オプション）を使用することにより回り込み性能の向上も可能。
○Mo/Cr/Ni/Cuなどの金属板（オプション）をコーティングすることが可能です。
○電圧・電流容量の変更（オプション）により、殆どの金属コーティングを可能にします。
○空冷式マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にし、ターゲットの温度上昇を防ぎます。
○雰囲気ガスはアルゴンガスを使用。
○条件出しの際の操作をより簡単にしたボタンレイアウト。
○条件出し完了後はボタンひとつでフルオート動作。
○インターロック・安全機構が充実した電子顕微鏡向けスパッター装置。

【その他の特徴】
○ターゲットは空冷式マグネトロン方式で、貴金属以外の金属コーティングを可能にし、イオンダメージ、熱ダメージを最小限に抑えています。

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

価格情報	お問い合わせください
価格帯	100万円 ~ 500万円
納期	お問い合わせください ※お問い合わせください
型番・ブランド名	ＭＳＰ－２０－ＴＫ
用途／実績例	【用途】 ○電子顕微鏡の試料にタングステンコートを施す装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。