株式会社真空デバイス プラズマクリーナーPCU-30
- 最終更新日:2023-07-12 10:06:51.0
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小型・低価格を実現。多目的簡易操作型RFプラズマクリーナー。
プラズマクリーナーPCU-30はSEM・TEM試料をプラズマでクリーニングする装置です。当社独自のRF電源を使用し、小型・低価格を実現。低エネルギープラズマで試料損傷を回避。•クリーン排気(TMP+SQP)・簡易操作で能率的です。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
基本情報プラズマクリーナーPCU-30
【主な特徴】
○SEM試料をプラズマでクリーニングする装置です。
○当社独自のRF電源を使用し、小型・低価格を実現。
○低エネルギープラズマで試料損傷を回避。
○クリーン排気(TMP+SQP)・簡易操作で能率的
○観察によるコンタミネーションを除去し、分析・分解能向上。
○SEMホルダー・絞りのアンチコンタミが可能なハイコストパフォーマンスモデル。
【その他の特徴】
○走査型電子顕微鏡の試料観察においてコンタミを除去し、分解能・分析性能の向上を図る装置です。
○低出力RF13.56MHz励起プラズマ照射による高効率化で試料損傷を抑制したクリーニングが可能です。
○TEM,SEM,FIB試料、試料ホルダー、及び絞りのアンチコンタミ処理が可能です。
チャンバー排気はTMP、スクロールポンプによるオイルフリーシステムです。
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
価格情報 | お問い合わせください |
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価格帯 | 100万円 ~ 500万円 |
納期 |
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型番・ブランド名 | PCU-30 |
用途/実績例 | 【用途】 ○SEM・TEM試料をプラズマでクリーニングする装置。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 |
カタログプラズマクリーナーPCU-30
取扱企業プラズマクリーナーPCU-30
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