ジャパンクリエイト株式会社 スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター HMSC-300A

基本情報スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター HMSC-300A

【特徴】
○各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置
○チャンバー内の雰囲気をコントロール
→均一な高精度のコートができる
○N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で実行

【仕様】
○対象ワーク：7"□、φ8"等
○外形寸法：W1500×D1500×H1700
○回転部
→インナーカップ　アルミ、アルマイト処理
→外形φ300　密閉回転式
→スピンモーター　ACサーボモーター5.5KW
→回転数　MAX3000rpm
○インナーカップ蓋
→MAX3000rpm
→材質アルミ、アルマイト処理φ300
→回転モーターACサーボモーター3.3KW
○アウターカップ：φ400 SUS304 研磨
○カップ洗浄機構：洗浄液加圧タンクより圧送
○ノズルアーム
→ステッピングモーター駆動
→ディスペンサー 2系統
○溶剤雰囲気：バブリング機構
○乾燥：真空乾燥5×10-4（TOrr）

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カタログスピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター HMSC-300A

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取扱企業スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター HMSC-300A

ジャパンクリエイト株式会社

当社はウエハー洗浄機、エッチング装置、スピンドライヤー等、半導体製造装置を主としたメーカーです。又お客様のニーズに合わせて、研究用の小型機から量産用の自動装置を小回りのきく企業として製造いたします。また、これらの技術を生かしLCD.PDP.有機EL.FED.LED等の洗浄装置も開発製造いたしております。全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。 【NEW】流山事業所を開設しました！！(2021年1月1日より) 流山事業所のプラズマプロセス装置事業部は、真空技術及びプラズマ技術に特化した技術者集団です。 少数精鋭ながら高い技術力で、お客様の多種多様なニーズに応えて参ります。 取扱製品：プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置、ドライエッチング装置、アッシング装置、RTA装置、各種複合装置など 〒270-0156　千葉県流山市西平井956-1 お問い合わせ　TEL:04-7150-5731 ※アドバンストマテリアルテクノロジーズ株式会社(株式会社ユーテック,YOUTEC)からHDD、Siウエハ、ガラス基板、容器向けなどの成膜装置事業を譲り受けました。

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