有機デバイス蒸着装置　E-100J エイエルエステクノロジー

E-100の特徴をそのままに自動排気制御の機能を省きコストを抑えてます

当社では、E-100の特徴を変えずにに自動排気制御の機能を省きコストを抑える
『有機デバイス蒸着装置　E-100J』を設計・製造・販売しております。

※「有機デバイス研究用蒸着装置」として高い評価を頂いております。

【特徴】
○「E-100」の機能を生かした下位モデル
○「E-100」の特徴をそのままに自動排気制御の機能を省きコストを抑えている
○ターボ排気ポンプを備えた高真空排気チャンバーに蒸発8源を放射上に配置
○電源を増設すれば多元同時蒸着が可能
○チャンバーの両横にはJIS150フランジを設置
○グローブボックスへの接続や株式会社エイエルエステクノロジー社製
　（E-100)と接続してマルチチャンバー蒸着が可能
○チャンバー下部には取り外し可能な大口径フランジを装備

基本情報有機デバイス蒸着装置　E-100J

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取扱企業有機デバイス蒸着装置　E-100J

株式会社エイエルエステクノロジー

■研究用真空装置の製造販売・有機EL研究用蒸着装置・昇華精製装置・キャリアボックス・試験用チャンバー・スパッタリング装置・UHV排気装置・特注真空装置・特注真空応用部品・研究・実験用の部品 < 真空部品の販売 > ・キヤノンアネルバ株式会社の扱う真空部品などの販売・ULVAC社の扱う真空部品などの販売・ファイファー製品の販売（ターボポンプ、真空計等） ■真空装置の改造 ■真空装置の保守サービス ■中古真空装置および中古のユニットの改造・販売　（東京都公安委員会承認の古物商資格取得） ■輸入販売業務・R.D.Mathis（米国ロスアンゼルス）　蒸着ボートの販売