防水対応3軸円筒座標型ロボット　SWHR3156シリーズジェーイーエル

LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウエハ搬送に最適

防水対応3軸円筒座標型ロボットSWHR3156シリーズは、300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付です。保護等級IP64で、LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウェーハ搬送に適しています。S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。
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基本情報防水対応3軸円筒座標型ロボット　SWHR3156シリーズ

【特徴】
○アームバリエーション:156mm
○Z軸バリエーション:200mm、300mm
○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下
○アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保
○アーム関節部防水構造にVシール使用
○部品の接合部はバイトンパッキンによりシール
○Z軸部防水構造にジャバラ使用
○動作モニター装備
○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
○全軸2相パルスモータ使用
○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック
○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

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