株式会社ジェーイーエル 5軸水平多関節型クリーンロボットGTCR5000-AMシリーズ
- 最終更新日:2014-10-31 15:51:08.0
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シングルアームでありながらツインアームの機能を確保しております。
300mm対応5軸水平多関節型クリーンロボットGTCR5000シリーズは、ツインチャックを搭載することでシングルアームでありながらツインアームの機能を確保し、300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
基本情報5軸水平多関節型クリーンロボットGTCR5000-AMシリーズ
【特徴】
○アームバリエーション:210mm、280mm
○ロボットのみで2FOUP対応(210mm)、3FOUP対応(280mm)が
それぞれ可能
○Z軸バリエーション:300mm
○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下
○ツインチャック採用によりウエハ交換時間の短縮
○シングルチャック仕様も選択可能
○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能
○動作モニター装備
○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
○全軸ACサーボモータ使用
○S字加減速制御及び、動作軌跡最適化によりウエハを高速、高精度に搬送
○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック
○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能
○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能
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カタログ5軸水平多関節型クリーンロボットGTCR5000-AMシリーズ
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