真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットDTVHR4000シリーズジェーイーエル

長寿命と信頼性の高い搬送を維持でき、低アウトガス環境での使用が可能

4軸円筒座標型リンク式高真空対応クリーンロボットDTVHR4000シリーズは、リンク構造は金属ベルト、ギア等を使用せず転動体により連結された構成のため、長寿命と信頼性の高い搬送を維持でき、低アウトガスと20℃～50℃の環境での使用が可能です。CE認証を取得しました。
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基本情報真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットDTVHR4000シリーズ

【特徴】
○アームバリエーション:275mm
○Z軸バリエーション:50mm
○リンク式採用による優れた直進性、低パーティクルを実現
○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用
○ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮
○使用環境:不活性ガス雰囲気・温度:摂氏50度以下で使用可能
○動作モニター装備
○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
○全軸2相パルスモータ使用
○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

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