5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズジェーイーエル

チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能

5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズは、多彩な装置レイアウトへの対応が可能です。フットプリントの縮小化、真空引容積の縮小化に寄与しており、チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能です。並列したステージへのアクセスが可能(レイアウトのインライン化に最適)です。
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基本情報5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズ

【特徴】
○アームバリエーション:281mm、330mm
○Z軸バリエーション:60mm
○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下
○アーム関節部には磁性流体シール使用
○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用
○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備
○ツインチャック採用によりウェーハ交換時間の短縮
○動作モニター装備
○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
○全軸ACサーボモータ使用
○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
○ウェーハ保持:落し込み、エッジグリップチャック
○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能
○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

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