株式会社ジェーイーエル 5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズ

5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズ http://www.ipros.jp/public/product/image/829/2000143875/IPROS3677208628135797704.JPG 【特徴】 ○アームバリエーション:281mm、330mm ○Z軸バリエーション:60mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○アーム関節部には磁性流体シール使用 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○ツインチャック採用によりウェーハ交換時間の短縮 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:落し込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 株式会社ジェーイーエル 製造・加工機械 > 産業用ロボット > 搬送・ハンドリングロボット
5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズ 製品画像

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チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能

5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズは、多彩な装置レイアウトへの対応が可能です。フットプリントの縮小化、真空引容積の縮小化に寄与しており、チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能です。並列したステージへのアクセスが可能(レイアウトのインライン化に最適)です。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

基本情報5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズ

【特徴】
○アームバリエーション:281mm、330mm
○Z軸バリエーション:60mm
○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下
○アーム関節部には磁性流体シール使用
○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用
○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備
○ツインチャック採用によりウェーハ交換時間の短縮
○動作モニター装備
○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
○全軸ACサーボモータ使用
○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
○ウェーハ保持:落し込み、エッジグリップチャック
○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能
○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

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発売日 取扱い中
用途/実績例 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
よく使用される業種 産業用機械、機械要素・部品、民生用電気機器、産業用電気機器、電子部品・半導体、光学機器、自動車・輸送機器、航空・宇宙、医療機器、その他

カタログ5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズ

5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズ

5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズ 表紙画像

【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください】
チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能な「5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズ」

取扱企業5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズ

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電子機器製造販売

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