Al、Al合金またはMo、Mo合金の単膜や、Mo/Al/Mo、Mo合金/Al合金/Mo合金などの積層膜を良好にエッチングします。
本製品の特長は以下のとおりです。
・ 良好な順テーパーを形成します。
・ サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。
・ エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。
キーワード：ウェットエッチング、アルミニウム、モリブデン、AlCu、MAM、多層膜
基本情報Al・Mo・Mo/Al/Mo積層膜用標準品
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 用途／実績例 | お問い合わせください。 |
カタログAl・Mo・Mo/Al/Mo積層膜用標準品
取扱企業Al・Mo・Mo/Al/Mo積層膜用標準品
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電子工業用薬品、試薬・化成品、特殊薬品等の 製造、販売
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