研究用途からシステム組み込みまで高安定・高分解能・汎用性を実現！
PSセンサは、独自の技術による静電容量方式を採用し、高安定・高分解能・汎用性を実現した超精密非接触変位計です。変位・振動・形状・位置検出など幅広い分野に用いられ、コストパフォーマンスを追求した汎用性変位計として高い評価を得ております。
また、地球環境の影響を考慮し、いずれの製品も鉛フリー・RoHS指令に対応しております。
PS-IIIシリーズは、複数チャンネルを１台の筐体にまとめ、AC１００Vで動作し、各種機能を盛り込んだPSセンサシリーズの決定版です。研究開発用途のみならずシステムへの組込みも可能です。
基本情報マルチチャンネルPSセンサ PS-III
【特 長】
■RoHS指令対応
■鉛フリー
■導体であれば材質により感度が変わらない
■表面粗さの影響を受けない
■高精度・高安定
■センサ形状の柔軟性
■出力オフセット機能
■豊富なオプション
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| 用途／実績例 | ＜ アプリケーション例 ＞ ・面ぶれ測定 ・厚み、平面度測定 ・ステージ移動量測定、位置決め制御 ・ピエゾステージの閉ループ制御 ・ブレーキディスクの磨耗量測定 ・ウェハーの厚み、平面度、平坦度測定 ・回転体のランナウト測定 ・顕微鏡対物レンズのオートフォーカスセンサ |
カタログマルチチャンネルPSセンサ PS-III
取扱企業マルチチャンネルPSセンサ PS-III
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