0.1μm、薬液管理、フッ化水素酸に対応 インライン用パーティクルセンサー
薬供プラントの送り Wet洗浄ラインの粒子管理に
0.1μm、薬液管理、フッ化水素酸に対応する
インライン・多点モニタリングシステム用センサー
半導体工場、薬液製造工場に多数の実績あり
基本情報パーティクルカウンタ液中0.1μmHF対応 KS-16/16F
●粒径区分(5 段階) 0.1μm、0.15μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm 以上
●供給ラインにダイレクト接続、工程の異常をすばやくキャッチ
●センサコントローラ(KZ-70)やモニタリングソフトウェアとの
組み合わせで測定現場での制御、結果表示が可能
●多点モニタリングシステムに対応
(RP モニタ K9461 Ver. 3 で20 ポイント、多点監視ソフト KF-02B で160 ポイント)
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | KS-16/KS-16F |
用途/実績例 | 半導体工場 薬液プラント 供給ライン 薬液製造メーカー 製造ライン 純水製造プラント 送り |
カタログパーティクルカウンタ液中0.1μmHF対応 KS-16/16F
取扱企業パーティクルカウンタ液中0.1μmHF対応 KS-16/16F
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