リオン株式会社
最終更新日:2019-05-17 11:52:49.0
パーティクルカウンター 液中 HF対応 0.04μm KS-18FX
基本情報パーティクルカウンター 液中 HF対応 0.04μm KS-18FX
液中パーティクルカウンター「0.04μm 」「HF対応」
最小可測粒径0.04 μm、定格流量10 mL/min
■ 粒径区分最大10 段階
( コントローラKE-40B1と接続することにより、任意に設定可能)
■ 液漏れセンサ内蔵。本体内で液漏れ発生時に警報を出力
■ セルにサファイアを使用
パーティクルカウンター液中 0.04μm 純水 KL-30AX
超純水プラントの送りにインライン設置
24時間モニタリング
プロセスラインへの供給する超純水のパーティクルを監視
国内製造・国内メンテナンス 信頼のリオン製品! (詳細を見る)
パーティクルカウンタ液中0.1μmHF対応 KS-16/16F
薬供プラントの送り Wet洗浄ラインの粒子管理に
0.1μm、薬液管理、フッ化水素酸に対応する
インライン・多点モニタリングシステム用センサー
半導体工場、薬液製造工場に多数の実績あり (詳細を見る)
パーティクルカウンター 液中 0.2μm KS-42B/BF
0.2μm ~ 2.0μm の広範囲な可測粒径範囲。
高計数効率による、少ないサンプル量で測定が可能。
国内製造・国内メンテナンスの充実のサポート体制。 (詳細を見る)
パーティクルカウンター 液中 0.2μm KL-28B/BF
ウエットプロセスのパーティクル管理に最適
ポイントオブユース、インラインパーティクルモニタリングに多数の実績あり
国内製造・国内メンテナンスの充実のサポート体制 (詳細を見る)
パーティクルカウンター液中 レジスト0.15μm KS-41A
液中パーティクルカウンター KS-41A
フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.15μmから測定
国内製造・国内メンテナンスの充実したサポート体制 (詳細を見る)
パーティクルカウンター30ナノ・HF対応 KS-19F リオン
●最小可測粒径 0.03 μm
薬液対応の液中パーティクルセンサにおいて世界最小粒径(2014 年2 月当社調べ)
●任意に粒径区分を設定可能
●0.03 ~ 0.13 μm の範囲で10 段階
●サファイアセル使用 (詳細を見る)
取扱会社 パーティクルカウンター 液中 HF対応 0.04μm KS-18FX
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