SAL3481HV(マルチワークアライナ) ジェーイーエル

ウエーハ材質に影響を受けない新型アライナ

各種ウェーハに対応した100～200mm新型アライナ。

シリコンウェーハ、シリコンウェーハBGテープ（乳白色）付、透明、半透明ウェーハなどウェーハ材質に影響を受けずにアライメント可能
独自開発のイメージセンサを使用し、モータドライバ、コントローラを本体に内蔵
ウェーハサイズ、材質にあわせてスピンドルの径、形状、材質の変更も対応可能
ベルヌーイスピンドルも搭載可能
制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
SEMI規格にない形状のノッチ、オリフラ等への対応も可能
ウェーハ持ち直し動作が可能なZ軸付きも製作可能

基本情報SAL3481HV(マルチワークアライナ)

○被搬送物 SEMI規格 100～200mmウェーハ（透明、半透明、シリコン）（その他特殊なワーク、材質へも柔軟にカスタマイズ対応致します）
○位置決め精度センタリング：±0.1mm以内
○オリフラノッチロケート：±0.1度以内
○位置決め時間 3秒(ウェーハの受渡時間は含みません)
○センサ LED照明付+イメージセンサユニットによるウェーハエッジ検出
○位置補正範囲半径4mm以内
○ウェーハ保持方式真空吸着による保持
○クリーン度 ISOクラス2(駆動部排気時)
○質量約10kg
○ユーティリティ電流電圧：DC24V±10% 3A 真空：-53kPa以上

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用途／実績例	各種ウェーハに対応した100～200mm新型アライナ。