STCR4160SN(クローズドループ制御) ジェーイーエル

●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実現

スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型クリーンロボットです。
低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応の新型ツインアームロボットです。

急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上
アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮
バッテリ不要な機械式多回転アブソリュートセンサを搭載
従来機と互換性（取付互換、性能互換）があり、載せ替えが可能
高剛性・アーム第3関節換算3kgf(リストブロック、チャック、ワーク含む）
アームバリエーション：100mm, 130mm, 160mm, 200mm
装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの装置への固定方法を選択可能
ベルヌーイチャックを搭載可能（オプション）

基本情報STCR4160SN(クローズドループ制御)

○ロボット型式 STCR4160SN-300-CM
○被搬送物 2, 3インチ, 100～300mmウェーハ（その他特殊なワーク、形状、材質へも柔軟にカスタマイズ対応致します）
○ウェーハ保持方式チャックによる真空吸着
○機械構造形式円筒座標型制御軸 4軸
○モータタイプ全軸2相パルスモータ
○動作範囲ワーク中心到達距離旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸)
575mm 340度 300mm
○搬送速度(平均) アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸)
570mm/sec 220度/sec 200mm/sec
○搬送速度(最高) アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸)
1140mm/sec 270度/sec 250mm/sec
○分解能アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸)
10.0µm以下 0.0015度 2.0µm
○繰り返し精度 ±0.1mm以内
○クリーン度 ISOクラス2(駆動部排気時)
○ユーティリティ電源：DC24V±10% 16A 真空：-53kPa以上

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用途／実績例	スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型クリーンロボットです。