SSY-10000 ジェーイーエル | イプロスものづくり

ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハ対応　卓上ローダーシステム

ウェーハ検査ステージと搬送部分が一体化したコンパクトな卓上システム
X軸190mm、Y軸200mmのロングストローク設計であり、どの位置でも手元のノブでウェーハの回転操作が可能
搬送ロボットは2本のチャックを持ち、検査ステージへのウェーハ入れ替え動作を短時間で完了可能
ロボットと落とし込みアライメントステージの組み合わせで低コスト・省スペース・高機能なシステムを実現

基本情報SSY-10000

○被搬送物～100mmウェーハ (ガラス, サファイア, SiC, GaN, 等)
○動作範囲ワーク中心到達距離旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸)
225mm 360度 150mm
○搬送速度
（平均速度）アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸)
225mm/sec 500度/sec 200mm/sec
○搬送速度
（最高速度）アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸)
300mm/sec 700度/sec 300mm/sec
○ウェーハ保持方式真空吸着による保持
○繰り返し精度 ±0.1mm以内
○クリーン度 ISOクラス2以下（駆動部排気時）
○質量ロボット本体約15kg
○ユーティリティ電源電圧：DC24V±10% 真空：-53kPa以上