株式会社ジェーイーエル TSCR3060N(2インチウェーハ搬送)
- 最終更新日:2014-12-26 21:12:20.0
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搬送部の小型化に寄与します。
業界最小クラス、装置の小型化が可能
当社標準比大気ロボット:フットプリント75%(□115x130mm), 容積比80%ダウン
アームの組み合わせにより任意の到達距離の設定が可能
基本情報TSCR3060N(2インチウェーハ搬送)
ロボット仕様
ロボット型式 TSCR3060N-135-PM
被搬送物 2インチシリコンウェーハ
ウェーハ保持方式 真空吸着保持方式
機械構造形式 円筒座標型 制御軸 3軸
モータタイプ エンコーダ付き2相パルスモータ
動作範囲 アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸)
±119mm 360度 135mm
搬送速度 アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸)
230mm/sec 450度/sec 170mm/sec
繰り返し精度 ±0.1mm以内
クリーン度 ISOクラス2(駆動部排気時)
ユーティリティ 電流電圧:DC24V±10% 4A 真空:-70kPa以上
質量 ロボット本体 約4kg
コントローラ仕様
コントローラ型式 C4301シリーズ
インタフェース RS232C及びパラレルフォトI/O
本仕様はTSCR3060N-135-PMの代表的な仕様です。被搬送物、チャック形状により異なります。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 半導体製造装置など |
取扱企業TSCR3060N(2インチウェーハ搬送)
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