株式会社ジェーイーエル SAL2041（エッジグリップ仕様）

最終更新日：2014-12-26 21:54:51.0
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ウェーハ用アライナ

半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応
小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現
小径ウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします

基本情報SAL2041（エッジグリップ仕様）

被搬送物 100.4mmサファイヤウェーハ（第1オリフラのみ仕様）/厚み 1mm以下（反り無し）
位置決め時間オリフラサーチ 5秒以内（持ち直し無の場合）
位置決め精度センタリング：±0.2mm以内
オリフラロケート：±0.3度以内
センサ赤色LED透過式センサ
ウェーハ保持方式ウェーハグリップアームによるエッジグリップ方式
クリーン度 0.1µm/cf クラス1（駆動部排気時）
駆動方式小型ステッピングモータを各軸に使用(モータドライバは内蔵しております)
ユーティリティ電源：DC24V±10％ 2A