オーテックス株式会社 6-Dメカニカルステージ

6-Dクオリティで最高級のメカニカルステージ

ALIO社は2001年に設立以来、一貫して、Nanoにこだわって、
ステージを製造してまいりました。クロスローラーガイド、エア
ベアリング、リニアモーター、PZTモーター等、アプリケーション
に最適のステージを250種以上のスタンダードステージより組み
合わせて提供します。

基本情報6-Dメカニカルステージ

Hybrid Hexapodシリーズ
・可動軸:XーYーZーΘーTilt XーTilt Yの自由曲線
・X-Yストローク:60ー30mm
・Zストローク:6ー10mm
・Θストローク:360°
・Tilt X - Tilt Yストローク:±3ー±18°
・分解能:直動: 5nm, 角度: <0.04秒

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カタログ6-Dメカニカルステージ

取扱企業6-Dメカニカルステージ

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オーテックス株式会社

■レーザー機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務 ■電気機器・電子機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務 ■光学機器並びにその応用装置と部品の販売並びに輸出入業務 ■医療・理化学・測定機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務 ■接着剤・接着テープ・接着シート・並びにその機器・装置の製造販売並びに輸出入業務 ■前各号に付帯する一切の業務

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