オーテックス株式会社 Ion Beam Sputterコーティングオプティクス
- 最終更新日:2017-01-19 15:46:45.0
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IBSは高密度で耐久性のある誘導体薄膜を作り出すプロセスです。
1970年代に慣性航法装置、特にレーザーリングジャイロ用に開発されました。
IBSフィルムは低分散、低吸収特性を持ち、また環境に影響されにくい特徴があります。
1990年代後半の光通信ブームの間、IBSはファイバー端やDWDMフィルターをコートするのに使われました。
現在この技術が発達し、より大きなコーティングチャンバーが開発され、ハイダメージスレッシホールドの洗練されたコーティングが可能になりました。
【特徴】
○極めてレーザー損傷閾値が高い
→>70J/cm2、20nsec 20Hz @1064nm
○コーティング表面が極めてなめらかである
→<1ÅRMS
○スキャッター、アブソープションが非常に少ない
→<2ppm
○コーティング密度が高いので
→水分の浸透性・波長シフトがない
○デポジッションレートがゆっくりである
→~3Å/sec(高コスト)
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基本情報Ion Beam Sputterコーティングオプティクス
【ラインナップ】
○可視光用反射ミラー
→モデル: PVD-05(0.5インチ) PVD-10(1インチ)
→適応波長: 400~675nm
○近赤用反射ミラー
→モデル: PND-05(0.5インチ) PND-10(1インチ)
→適応波長: 700~900nm
○YAG用反射ミラー
→モデル: PYD-05(0.5インチ) PYD-10(1インチ)
→適応波長: 1064nm
○スーパーブロードバンドミラー
→モデル: SBB-10
→適応波長: 350~1100nm
○高出力YAG用
→モデル: HYD-05(0.5インチ) HYD-10(1インチ)
→適応波長: 1064nm
○高出力YAG2倍波用
→モデル: HSH-10
→適応波長: 532nm
○高出力YAG3倍波用
→モデル: HTH-10
→適応波長: 355nm
○高出力YAG4倍波用
→モデル: HQH-10
→適応波長: 266nm
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カタログIon Beam Sputterコーティングオプティクス
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