サニー・トレーディング株式会社 半導体用超高純度エアー駆動式ダイアフラムポンプ
- 最終更新日：2019-08-29 17:21:47.0
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半導体用超高純度ダイアフラムポンプ「SEMIシリーズ」は、半導体製造用に特別に設計製作されています。
製品の組立はクラス100のクリーンルーム内で行っており、全ての部品を純水で洗浄し、純水にてテストを行い、最後にプラスチックフォイルに密封され出荷されます。
全ての接液部品をPTFE/TFMで製作した「SEMI T」と「SEMI H」。
接液部品がUPPE（超純度ポリエチレン）製の「SEMI E」。
SUS316L製の「SEMI S」の4タイプをご用意しております。
【特長】
○金属を一切使用していない
○接液部にO-リングを使用していない
○駆動エア部に潤滑油は不使用
○最高使用温度200℃
〇異なるアプリケーションに対応する為、異なる材質で作成された4種類のポンプ
〇オプションにて、脈動吸収ダンパー、ダイアフラム破損検知、ストロークカウンター、Flareteck接手、VCR接手
○保守修理が極めて簡単
→他の競合製品に比べて補用部品点数が40％と少なく経済的
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基本情報半導体用超高純度エアー駆動式ダイアフラムポンプ
【製作機種概要】
[機種：SEMI T]
○材質
→センターハウジング：TFM/PTFE
→サイドハウジング：UPPE
○口径：10，20，50，100
○流体：酸及び苛性
[機種：SEMI H]
○材質
→センターハウジング：TFM/PTFE
→サイドハウジング：PTFE
○口径：10，20
○流体：高温度の酸及び苛性
[機種：SEMI E]
○材質
→センターハウジング：UPPE
→サイドハウジング：UPPE
○口径：10，20，50，100
○流体：スラリー
[機種：SEMI S]
○材質
→センターハウジング：SUS316L
→サイドハウジング：SUS316L
○口径：20，50
○流体：溶剤
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
| 価格情報 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | DELLMECO |
| 用途／実績例 | ・酸、苛性 ・高温の酸、苛性 ・スラリー ・溶剤 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 |
カタログ半導体用超高純度エアー駆動式ダイアフラムポンプ
取扱企業半導体用超高純度エアー駆動式ダイアフラムポンプ
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サニー・トレーディングは世界中の高性能で確かな製品を通じ、 お客様の求める価値を万全な技術とサービスでお届け致します。 1． アメリカ及びヨーロッパ各社の工業製品・部品の紹介及び輸入販売 液体移送用のダイアフラムポンプやドラムポンプ 導電率計や比抵抗計・薬液濃度計にガス検知器 ガスや液体の圧力を上げるブースターポンプやロケットに搭載されている電磁弁や燃料配管など 世界中の各種メーカーの商品を、販売代理店として取り扱っております。詳しくは、製品紹介をご覧下さい。 2．納入製品の技術サポートとアフターフォロー 仕様に適した商品選択・打合せや、納入後のメンテナンス・機器構成など、商品性能を最大限に生かすサポートを致します。 3．工作機械類の設計及び製造並びに販売 商品を単体販売するだけでなく、仕様に応じて、各種装置を設計･製作致します。
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