GCR4210SN(クローズドループ制御) ジェーイーエル

・クローズドループ制御・アブソリュートエンコーダ搭載・バッテリレスを実現

低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応のスーパークリーンルーム用4軸水平多関節型クリーンロボットです。
並列配置されたカセットに対して走行軸なしで搬送可能です。
チャックの向きがカセットに対して直線移動し、エッジグリップによる搬送や角基板搬送も走行軸なしで対応可能。
各ウェーハサイズ対応可能です。
急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上
アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮
バッテリ不要な機械式多回転アブソリュートセンサを搭載
従来機と互換性（取付互換、性能互換）があり、載せ替えが可能
ロボットのみで2FOUP対応可能
装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択への固定方法を選択可能
ベルヌーイチャックを搭載可能（オプション）

関連リンク - http://www.jel-robot.co.jp

基本情報GCR4210SN(クローズドループ制御)

ロボット型式 GCR4210SN-300-CM
被搬送物～300mm ウェーハ
ウェーハ保持方式チャックによる真空吸着で保持
機械構造形式水平多関節型制御軸 4軸
モータタイプステッピングモータ（クローズドループ）
動作範囲ワーク中心到達距離旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸)
760mm 335度 300mm
搬送速度アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸)
730mm/sec 240度/sec 200mm/sec
繰り返し精度 ±0.1mm以内
クリーン度 ISOクラス2以下（ISO14644）（駆動部排気時）
ユーティリティ電流電圧：DC24V±10% 15A 真空：-53kPa以上(吸着チャック取付の場合)
質量ロボット本体約26kg

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用途／実績例	半導体搬送装置など