SEM断面観察試料作製、FIB前処理に最適な劈開装置。 狙った箇所の断面を高精度・正確に露出します。
LatticeAx420は一台でマイクロインデント(浅い切込み)から劈開まで行うことが出来、その精度は±10um以内になります(特許申請中) 。
近年では、TSVやバンプの断面観察の前処理用途として注目を集め、僅か5分以内にそのままSEM観察が出来るレベルの断面を出すことや、FIB等の加工時間を大幅に短縮する前処理ツールとしても使用されております。スクライブは行いませんので、ターゲット箇所を損失することもございません。
基本情報マニュアル劈開装置 LatticeAx420
【特長】
・早い(5分以内)
・高精度(±10um以内)
・作業者に左右されない高い再現性
・低価格
・最大サンプルサイズ：8インチウエハーまたは1/2-300mmウエハー
・最小サンプルサイズ：9mm
※これ以下のサイズは、専用アクセサリーキットを使用
・TSVやバンプの断面解析に最適
・劈開後の断面は鏡面で露出
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | LatticeGear |
| 用途／実績例 | ・半導体ウェハ、ガラスの劈開、個片化 ・断面観察前処理 ・FIB加工前処理 |
取扱企業マニュアル劈開装置 LatticeAx420
マニュアル劈開装置 LatticeAx420へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
