株式会社テクニカルフィット 省スペース型「スピン洗浄装置（多目的洗浄タイプ）」
- 最終更新日：2018-04-23 13:08:36.0
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１チャンバー型多目的スクラブ洗浄。１チャンバーで異物、金属汚染を取り除くことが可能！省スペースなので研究開発に好適
各種サイズ、各種ウエハの、界面活性剤、純水スクラブ、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までを１チャンバーで行う枚葉装置です。
１つの洗浄層の中で洗浄が完結できる省スペース型のためスペースの限られた場所にも適しています。
単機能のスクラブ洗浄装置についてはご相談ください。
【特長】
■洗浄・リンス・乾燥まで1か所で行える
■被洗浄対象ウエハ：シリコン、石英、酸化物、化合物等
■対応ウエハ口径 ：φ2”～φ4” φ6”～φ8”
※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
基本情報省スペース型「スピン洗浄装置（多目的洗浄タイプ）」
※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■各種ウェハー洗浄 |
カタログ省スペース型「スピン洗浄装置（多目的洗浄タイプ）」
取扱企業省スペース型「スピン洗浄装置（多目的洗浄タイプ）」
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■各種装置の開発、製造、販売 ■各種装置に付帯関連する一切の業務
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