ロバストな高輝度・長寿命・低消費電力電子銃の開発資料！
当資料は、電子ビームを用いたウェハ直接描画に使用するマルチコラム・
マルチビームによる並列型電子ビーム露光技術の開発をめざし、コラムと
電子銃等の要素技術開発を進めている株式会社PARAMの開発資料です。
新規素材を用いたSchottkyエミッションによる低温度動作化、炭素材加熱
方式を用いた長寿命化をねらいとしています。
【開発内容】
■ロバストな高輝度・長寿命・低消費電力電子銃
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報『ロバストな高輝度・長寿命・低消費電力電子銃』開発資料のご紹介
【試作実験】
■多種材料を用いて試作評価
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| 用途／実績例 | ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。 |
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