最大出力3kW 水冷式 プラズマ励起用マイクロ波発振器
低出力リップル、RoHS対応、Made in Japan で
高品質、サポートも安心です。
基板アッシング装置で多数の導入事例あり。
あなたの携帯電話もこの発振器で作られている、かもしれませんよ。
【特長】
■低出力リップルで、安定したプラズマを生成します。
■電源部、発振部はセパレートで、レイアウトの自由度が高いです。
■細かい仕様変更等にも極力対応させていただきます。
■Made in Japan
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報マイクロ波発振器（プラズマ励起用）『MPS-30W-DC』
【仕様】
≪電源部 MPS-30W-DC≫
■入力電源：三相190V～220V 50/60Hz
■入力容量：7KVA以下
■出力安定度：190V～220Vの入力変動に対し、±2％以内（3kW 出力時）
≪発振部 MG-30CJ-W / MG-30CT-W≫
■発振周波数：2455MHz±20MHz
■出力電力定格：500W～3000W 連続可変 ※マッチング負荷
■冷却方式：水冷（4L/分以上、水温30℃以下、水圧6.9×10 ５Pa以下）
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格情報 | 仕様により異なりますので、お問い合わせ下さい。 |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※仕様により異なりますので、お問い合わせ下さい。 |
| 用途／実績例 | 基板アッシング装置で多数の導入事例あり。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログマイクロ波発振器（プラズマ励起用）『MPS-30W-DC』
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