PFAライニング SUS製ハイフロー『 EP 空圧式バルブ』日本インテグリス

半導体グレードで、ステンレスボディにPFAライニングを施した大流量・高純度薬品向けの信頼性の高い空圧式バルブです。

『ハイフローシリーズ空圧式バルブ』は、高純度薬品向けの耐薬品性に優れたフランジー体型のPFAライニングバルブです。

金属のコンタミネーションを嫌うプロセスに最適です。

さらに、オリフィスおよび接続配管径が大きく、大流量に対応可能です。

【特長】
■耐腐食性に優れた構成部材
■操作性に優れたデザイン
■JIS 10K フランジ 15A～50Aから選択が可能
■ISO9001、ISO14000 登録認定工場による製品

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関連リンク - https://www.entegris.com/shop/ja/JPY/p/EPPneumatic…

基本情報PFAライニング SUS製ハイフロー『 EP 空圧式バルブ』

【仕様】
材質：（接液部）PFA、PTFE /（非接液部）ステンレススチール、EPDM、フッ素ゴム、ポリプロピレン、炭素鋼、PPS
最高使用圧力：689.5 kPa @ 21 °C、414 kPa @ 90 °C
温度範囲：21 ～ 120 °C (流体温度)
エア供給圧力：414 ～ 586 kPa
エア供給ポート：Rc 1/8

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カタログPFAライニング SUS製ハイフロー『 EP 空圧式バルブ』

ハイフローシリーズ PFA ライニング空圧式バルブ

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取扱企業PFAライニング SUS製ハイフロー『 EP 空圧式バルブ』

日本インテグリス合同会社

液体・ガスの精密ろ過／精製製品：フィルター、ピューリファイヤー、ガス精製システム。ガスシリンダー製品：イオン注入プロセス用ガスシリンダー。液体の移送製品：バルブ、継手、サニタリー配管部品、薬液容器・送液システム。液体の制御／管理製品：ディスペンスシステム、流量コントローラ、流量計、濃度計、溶存酸素濃度計、個数カウント式粒度分布測定器、ゼータ電位測定器、薬液濃度モニタリングシステム。デバイスの保護／搬送関連製品：ウェーハ／ディスクシッパー、ウェーハ／ディスクキャリア、ウェーハ／レチクルポッド、チップトレー。特殊材料関連製品：高純度グラファイト、シリコンカーバイト、PVDコーティング（イットリア、アルミナ等）、 PECVDコーティング（シリコン、SiC、DLC等）。表面処理材料・部材関連製品：CMP後洗浄用薬液、エッチング後洗浄用薬液、ダマシンプロセス用銅めっき液、CMPスラリー、CMP後洗浄用ブラシ、CMP用パッドコンディショナー。先端成膜材料製品：各種絶縁膜材料、有機金属材料、High-k材料、固体成膜材料容器、液体材料供給システム上記製品の開発、販売、サービス。