東京電子株式会社 極高真空計『3B-Gauge』

極高真空計『3B-Gauge』 https://www.ipros.jp/public/product/image/64a/2000359542/IPROS4819795777411021627.png 【仕様】 ■電子エネルギー:120eV ■フィラメント電位:100V ■フィラメント加熱電流/電圧=1.5A/3.0V ■E-Beam脱ガス電力=480V×10~30mA ■電子電流=1~4mA(10mA可能) ■偏向電極電位=155V(デフレクター) ■X線限界=約5×10-12Pa ■ベーキング温度:最大280℃ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 東京電子株式会社 機械部品 > 真空機器 > 真空機器
X線限界10-12Paの高精度イオンゲージヘッド!極高真空計

『3B-Gauge』は、熱陰極型電離真空計に存在する軟X線、電子衝撃脱離 (ESD)、
ガス放出の3つの測定限界を総合的に改善し、10-12Pa台までの圧力測定が
可能な新しいタイプの測定子です。

電極は、超低ガス放出真空構造材 0.2%BeCu 合金のコンフラット
フランジ(ICF70)の中に埋め込まれ、低ガス放出化が図られています。

【特長】
■3つの測定限界を総合的に改善
■10-12Pa台までの圧力測定が可能
■低ガス放出化が図られている
■フランジ材料:0.2%BeCu 合金(外観 NiPメッキ)
■電流導入端子:SUS304,Kovar真空端子

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報極高真空計『3B-Gauge』

【仕様】
■電子エネルギー:120eV
■フィラメント電位:100V
■フィラメント加熱電流/電圧=1.5A/3.0V
■E-Beam脱ガス電力=480V×10~30mA
■電子電流=1~4mA(10mA可能)
■偏向電極電位=155V(デフレクター)
■X線限界=約5×10-12Pa
■ベーキング温度:最大280℃

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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カタログ極高真空計『3B-Gauge』

取扱企業極高真空計『3B-Gauge』

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