従来の常識を破る真空構造材0.2%BeCu合⾦

『魔法のニップル／キューブ／チャンバー』は素材にBeCu合金を使用することで従来の真空系を構成するステンレススチールに代わり、内壁からのガス放出を大幅に低減する新たな真空構造材です。

BeCu合金は、輻射率が低く、熱伝導率に優れるため、わずかに吸収した熱も速やかに拡散し、温度上昇を抑えることでガス放出スピードを1/10以下に低減することが出来ます。

【特長】
■到達真空を改善
■銅表面はNiP不動態化
■300℃までのベーキングに対応可能
■銅ガスケットを使用可能

※詳しくはPDFダウンロードより資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合せください。 （詳細を見る）

『WATMASS』は、10-7～10-13Pa台の残留ガス分析を高精度で行えるように
イオン源を改良した、超低ガス放出残留ガス分析計（質量分析計）です。

熱陰極イオン源および、センサーニップル菅（ICF70）を低輻射／高熱伝導の0.2%BeCu製を採用することで、
低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅に低減します。

また、グリッドを白金イリジウム（Pt-Ir）合金で製作することで、ESDガス放出を低減。
電気炉による徹底した低ガス化処理にて水素の排出および、酸化Be層を形成します。

【アプリケーション例】
■XHV／UHVの高精度な質量分析
■表面分析
■半導体デバイスの劣化とガス放出
■光刺激、電子刺激によって発生するガス分析（質量分析）
■微量ガス分析（TDS／Out Gas）
■封止デバイス／MEMSの質量分析および、10-17Pa・m3／sレベルのリーク試験
■ガラスのHe透過試験および、微小気泡ガス分析

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『WATMASS－MPH DAシステム』は、当社の超低ガス放出残留ガス分析計
「WATMASS」の技術と、超低ガス放出真空構造材（0.2% BeCu合金）の
技術を組み合わせた新しい発想の質量分析装置です。

弊社の超微量ガス分析装置『WATMASS－MPH システム』では破壊及び、
リーク量（10＾-15Pa・m3/s 以下）の計測が可能です。
MEMSやライフサイエンスデバイス、あるいは半導体などの封止デバイスに！

★デバイス評価・材料評価など各種受託質量分析（ガス分析）も承ります★

【特長】
■超高感度 0.2%BeCu合金製ガス分析装置
■産総研殿の測定精度評価を取得
■破壊及び、リーク量（10＾-15Pa・m3/s 以下）の計測が可能
■各種受託質量分析も可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『魔法のニップル／キューブ／チャンバー』は素材にBeCu合金を使用することで
従来の真空系を構成するステンレススチールに代わり、内壁からのガス放出を
大幅に低減する新たな真空構造材です。

BeCu合金は、輻射率が低く、熱伝導率に優れるため、わずかに吸収した熱も速やかに拡散し、
温度上昇を抑えることでガス放出スピードを1/10以下に低減することが出来ます。

★12月11日(水)より、「SEMICON Japan 2019」に出展します！

【特長】
■真空系のガス放出を大幅に低減
■到達真空を改善
■銅表面はNiP不動態化
■300℃までのベーキングに対応可能
■銅ガスケットを使用可能

※詳しくはPDFダウンロードより資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合せください。 （詳細を見る）

『魔法のニップル』は、0.2%BeCu合金材料の特性を生かしたアイディア商品です。

BAゲージなどの熱陰極電離真空計は、ゲージ点灯中にゲージポート付近に
触ってみると、かなり温かくなっているはずです。真空を下げるために、
熱陰極電離真空計を切ってしまいたいと誰もが一度は考えます。

しかし、真空計が無ければ中の真空はわかりません。そんな時、当製品を
試してください。

今お使いの BAG や EXG を当製品にセットしてからステンレスのゲージポートに付けると、
真空計には何もしていないのに真空計からのガス放出は魔法のように下がります。

【特長】
■真空計のガス放出が 1/7に減る
■到達真空が1桁程度良くなる
■消費電力が1/2以下に減る
■0.2% BeCu合金製
■銅表面は NiP不動態化処理

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『3B-Gauge』は、熱陰極型電離真空計に存在する軟X線、電子衝撃脱離 (ESD)、
ガス放出の3つの測定限界を総合的に改善し、10-12Pa台までの圧力測定が
可能な新しいタイプの測定子です。

電極は、超低ガス放出真空構造材 0.2%BeCu 合金のコンフラット
フランジ(ICF70)の中に埋め込まれ、低ガス放出化が図られています。

【特長】
■3つの測定限界を総合的に改善
■10-12Pa台までの圧力測定が可能
■低ガス放出化が図られている
■フランジ材料：0.2%BeCu 合金（外観 NiPメッキ）
■電流導入端子：SUS304、Kovar真空端子

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

真空構造材といえばステンレスやチタンがが一般的ですが熱線（赤外線～可視光）の吸収率が非常に大きく、しかも熱が伝わりにくい金属です。 そのため、一旦熱が吸収されると、熱が逃げにくく真空チャンバーやフランジなどの温度が上昇し、 結果、ガス放出が大きくなってしまう問題が生じます。
ベリリウム銅は同の持つ特性として熱伝導率が極めて高く、さらに熱輻射率が低いことから高温にならず、ガス放出を大きく抑えることができます。またベリリウムを含有させることにより硬質になり、銅ガスケットの使用が可能となるため極・超高真空下での使用に適している素材となります。 （詳細を見る）

多様な質量分析を可能にする東京電?のラインナップをご紹介します。具体的にはこのような質量分析が可能になります。

【特徴】
■E-15Pa・m3/secの極微量ガス分析が可能
■極?真空下におけるE-13Pa台の?精度質量分析
■?素・?分の?精度計測
■?気圧リアルタイム分析（呼気・燃焼ガスなど）

※多様・?精度な質量分析のメカニズムの詳細はPDFをダウンロードしてご覧ください。
 （詳細を見る）