詳細化学反応解析プログラムCHEMKINと連成した、
エッチングプロセス最適条件の探索事例をご紹介します。
問題設定としては、原料ガス供給量SCCM、酸素濃度を変化させ、
出口C2F6濃度、CF4濃度がそれぞれ最小となり、
エッチング速度最大(膜生成速度最小）となる操作点を探索しました。
計算の結果、具体的にC2F6濃度とエッチング速度はトレードオフの関係になる
ことが明確となり、その後「modeFRONTIER」の多次元表示チャートから
選好解を抽出することに成功しました。
【事例】
■使用ソフトウェア：modeFRONTIER、CHEMKIN
■目的：エッチングプロセス最適条件の探索
■効果：多次元表示チャートを用いて選好解どうしを比較
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基本情報【解析事例】CVDエッチングプロセス最適条件の探索
【多目的ロバスト設計最適化支援ツール「modeFRONTIER」の特長】
■先端の最適化手法、実験計画法、応答曲面近似手法を搭載
■多目的ロバスト設計最適化・多目的許容差設計最適化に対応
■統計分析、多変量解析、CAPなどの多彩なポスト処理機能を搭載
■日本語環境(Windows)・英語環境に対応したインターフェース
■様々な ツールにダイレクトにアクセス可能な専用ノードを標準搭載
（CATIA V5、ANSYS Workbench、MATLAB、LabVIEWなど）
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カタログ【解析事例】CVDエッチングプロセス最適条件の探索
取扱企業【解析事例】CVDエッチングプロセス最適条件の探索
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■プロダクトの販売および技術サポート ・単独として魅力的でかつ将来性のある分野に属するプロダクト ・何らかの形で既存のプロダクトと連成・連結でき、お客様の問題に対してより良いソリューションを提供するプラットフォーム ・多分野間の連成・連結のためのプロダクト ・デジタルシステムに、シームレスにインテグレートするための必要な機能を有するプロダクト ・様々な解析技術やプロセス、データ群を複合的に活用できる環境：シミュレーション・プロセス・データ・マネジメント（SPDM）が実現できる ■エンジニアリングコンサルティング プロダクトの販売と共にエンジニアリングコンサルティングにも注力。様々な問題解決に必要なプロダクトの利用技術の移転、精度向上及び高速化のための物理モデル開発と組み込み、また、お客様の設計開発業務のプロセス改善と短縮のご提案といったコンサルティングサービスをご提供。 ■MBD・CAEを中心とするシステム構築と開発 長年蓄積してきた解析技術とノウハウ、お客様の課題に対する幅広い知識、様々なプロダクトを使いこなす経験とアクセス環境、これらとシステム開発の経験を統合した設計プロセスのご提案。
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