繊維の搬送・処理に実績を持っており電子関連や先端材料まで幅広い用途に対応！
当社では、フィルムや金属箔などフレキシブルな基板のクリーニング・親水化などの
表面処理に適したRtoR式の「プラズマ処理装置」を取り扱っています。
真空プラズマにより基板や目的に合わせたプロセスガスやプラズマモードが
選択でき、大気圧プラズマでは困難なプロセスに対応しています。
実績豊富な巻取式スパッタリング装置と基本構造を共通化しており、
信頼性の向上とコスト低減を図っています。
薄膜成膜前の表面処理に有効で、有機物の除去や親水化などに
大きな効果が得られます。
【特長】
■真空プラズマによる効果的な表面処理
■プラズマモードが選択可能（DC・RF／イオンガン）でプロセスの最適化
■柔軟なカスタマイズ対応
※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報巻取式プラズマ処理装置（RtoRプラズマ装置 評価テスト受付中）
【カスタマイズ】
■基板加熱機構：ランプ加熱機構、メインロール加熱、メインロール冷却
■冷却機構：メインロール水冷・冷媒使用
■プロセスガス：Ar、O2、N2その他選択可能
※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ巻取式プラズマ処理装置（RtoRプラズマ装置 評価テスト受付中）
取扱企業巻取式プラズマ処理装置（RtoRプラズマ装置 評価テスト受付中）
-
-
●装置事業部 （成膜装置） ・スパッタリング装置 ・真空蒸着装置 ・硬質膜形成装置 ・プラズマCVD装置 （プラズマ装置） ・エッチング装置 ・アッシング装置 ・クリーニング装置 （熱処理装置） ・真空リフロー装置 ・プラズマリフロー装置 ・真空熱処理装置 ・アニール装置 ●規格品事業部 ・ドライポンプ ・油回転真空ポンプ ・水封式真空ポンプ ・メカニカルブースタ ・真空排気装置 ・真空計、真空弁、真空部品 ・精密投影機 ・特殊光学機器
巻取式プラズマ処理装置（RtoRプラズマ装置 評価テスト受付中）へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
