株式会社日本レーザー【事例集】レーザー干渉式リニア変位センサによるQA＆QC

最終更新日：2024-04-08 18:17:33.0
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ナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５ｍ作動距離。幅広い材質に対応。

attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。

さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。
小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。
位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。

回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な品質管理（QC）や品質保証（QA）の達成に貢献します。

【特長】
■ピコオーダー分解能
■広い作動距離範囲：数ミリメートルから最大5メートル
■高磁場、超高真空対応可能
■モジュール式セットアップ
■超コンパクトなセンサヘッド
■3軸（X,Y, Z）構成可能

※詳細はお問い合わせいただくか、PDFダウンロードからご覧ください。

基本情報【事例集】レーザー干渉式リニア変位センサによるQA＆QC

最大センサ軸数：3
動作距離（WD）：0...5000 mm (センサヘッドにより異なる)
センサ分解能：1 pm
ターゲット速度：最高 2 m/s
測定帯域幅：10 MHz

※詳しくはお問い合わせください。

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型番・ブランド名	-
用途／実績例	【分野】ラボテスト、ビームライン、振動計測、校正用途、ウェハ＆マスク検査、クローズドループ・モーションコントロール、正確性評価、特殊環境下での位置決め用途【導入例】・半導体製造（ウェハステージのダイナミックモーションコントロール、測定・検査でのビームアライメント、ウェハ平坦度測定、リソグラフィと測定プロセスにおけるビームアパーチャやフィルタの位置決め、フォトリソグラフィでの超精密ポジショントラッキング）・工作機械（ステージガイドによる超精密インライン・トラベルリアルタイム特性制御、工作機械とCMMの体積補正、モーションキャプチャのためのセンサ組み込み、座標測定機のモーショントラッキング、振動分析・補正）・フォトニクス（超精密ファイバ位置決め、ビームステアリング、高分解能顕微鏡）

ラインナップ

型番	概要
IDS3010	コンパクトなモジュール型レーザー干渉式変位センサです。

カタログ【事例集】レーザー干渉式リニア変位センサによるQA＆QC

取扱企業【事例集】レーザー干渉式リニア変位センサによるQA＆QC

株式会社日本レーザー

【取扱製品】 ■レーザー海外より多くの種類のレーザー製品輸入し、あらゆる業種・用途でのお客様の要望に適応できるよう多彩な製品をラインナップしております。 ■ レーザー周辺機器・アクセサリーオプトメカニクス、オプトエレクトロニクス、除振台、光学部品・変調素子、ビームプロファイラー、パワーメーター、ガルバノスキャナ、保護メガネ等。 ■計測応用装置レーザー光を中心に、光を活用した工業計測・解析装置、粒子径分布測定、流体のベクトル測定、非接触測定による各種の最先端機器をご用意。赤外カメラを始めとした画像処理関連の機器・装置 ■加工応用装置描画装置、切断、穴開け、抵抗体のトリミングから、溶接、半田付け、一般加工から半導体製造向けまで