各種ワイヤボンディングや結果及び考察などを詳しく解説しています!
当資料は、半導体パッケージにおけるCuワイヤボンディングの
接合界面について掲載しています。
試料及び方法をはじめ、各種ワイヤボンディングや結果及び考察などを
図や写真と共に詳しく解説しています。
【掲載内容】
■緒言
■試料及び方法
■各種ワイヤボンディング
■結果及び考察
■結言
■参考文献
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基本情報【資料】Cuワイヤボンディングの接合界面について
【その他の掲載内容(抜粋)】
■結果及び考察
・ボンディング部の観察
・断面作製法の選択
・被覆Pdの分布
・EBSDによるCuグレインの観察
・Cu-Al接合界面
・開封エッチング後のAl 接合面の観察
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