国内大手半導体製造装置メーカーへの納入実績あり！真空チャンバー等型アルミ部品を高精度に仕上げます
半導体製造装置部品関連の製作実績をご紹介します。
PC、LL、TMの「真空チャンバー」、「チャンバー内製品」、
「チャンバー周辺製品」「深堀製品（～650mm）」等の製作・納品実績あり。
アリ溝・シール面加工などの真空部品関連技術を駆使し、より高精度な製品づくりを目指しております。
さまざまな接合・表面処理にも対応可。
電子ビーム溶接（EBW）、ろう付、TIG溶接、
硬質アルマイト、混酸アルマイト、無電解ニッケル、テフロンコーティング等、お客様のニーズに対応いたします。
また、生産管理システムは自社開発品。フレキシブルな生産・納期管理を実現いたします。
【製品例】
■真空チャンバー（PC、LL、TM）
■チャンバー内製品（上部下部電極など）
■チャンバー周辺製品（LLM、LIDなど）
■ゲートバルブ製品
■深堀製品（～650mm）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報加工事例【半導体製造装置向け】真空チャンバー・チャンバー内製品等
【表面処理】
■硬質アルマイト（封孔：沸騰水、蒸気）
■混酸アルマイト
■白・黒アルマイト
■無電解ニッケル
■テフロンコーティング
■精密洗浄（脱気梱包含む）
■その他
【接合】
■電子ビーム溶接（EBW）
■ろう付
■TIG溶接 など
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格情報 | 詳しくはお問い合わせください。 |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■半導体製造装置部品関連 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ加工事例【半導体製造装置向け】真空チャンバー・チャンバー内製品等
取扱企業加工事例【半導体製造装置向け】真空チャンバー・チャンバー内製品等
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