サムコ株式会社 【資料】パワーデバイス用GaNのトレンチ加工

これまでの加工実績をベースに行ったGaNのトレンチ加工をご紹介します

当社は半導体製造装置メーカーとして、GaN系発光デバイス製造における
ICPエッチング装置、CVD装置及びプロセス技術を提供してきた実績があります。

また、4H-SiCパワーデバイスに対してもトレンチ加工、メサ加工等に対応で
きる装置を提供。

当資料では、これまでの加工実績をベースに行ったGaNのトレンチ加工を
ご紹介しています。

【掲載内容】
■はじめに
■トレンチMOSFETの模式図
■GaNのトレンチ加工
■エッチング結果
■最後に

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報【資料】パワーデバイス用GaNのトレンチ加工

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

取扱企業【資料】パワーデバイス用GaNのトレンチ加工

samco-logo.jpg

サムコ株式会社

半導体等電子部品の製造・販売を行っています。 最先端の薄膜形成用プラズマCVD装置やドライエッチング装置、ドライ洗浄装置を製造・販売しており、世界中の生産現場や研究者の皆様へ提供しています。

【資料】パワーデバイス用GaNのトレンチ加工へのお問い合わせ

お問い合わせ内容をご記入ください。

至急度必須
ご要望必須

  • あと文字入力できます。

目的必須
添付資料
お問い合わせ内容

あと文字入力できます。

【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。

はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら

イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

サムコ株式会社

【資料】パワーデバイス用GaNのトレンチ加工 が登録されているカテゴリ