ブラシ洗浄からの置き換え！枚葉式ウエハ洗浄装置（スクラバー）エイ・エス・エイ・ピイ

実績多数の高圧ジェットを採用したスクラバー。ソフトスプレーと組み合わせて、枚葉による高速処理・高洗浄力・低消費薬液が可能。

当社のスクラバー装置は、当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェットにより、枚葉による高速処理・高洗浄力を実現し、薬液の使用量も削減できます。

ノズルは、高圧ジェット方式の他、2流体スプレー、1流体スプレー等の方式も選択可能ですし、組み合わせることも可能です。

ウエハ洗浄だけでなく、フォトマスクの洗浄でも実績があります。

また、DIP処理で問題となるパーティクルの再付着がありません。

使用薬液は純水ですが、仕様によってはNMP等の有機溶剤も
選定可能です。

【特長】
■高圧ジェット方式による高い洗浄力
■2流体、1流体スプレーノズル等の方式が選択可能！
■高圧ジェットと2流体、1流体スプレーとの組み合わせもが選択可能
■パーティクル再付着なし

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。

特設サイト

基本情報ブラシ洗浄からの置き換え！枚葉式ウエハ洗浄装置（スクラバー）

【主な仕様】
■ウェハサイズ：φ2"～φ8"まで対応可能
■使用薬液：純水、NMPなど
■装置サイズ：1330×1550×1900(φ8"　2カップ時、本体)
■搬送方法：ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応)
■消火器システム

その他オプション多数！

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格情報	-
納期	お問い合わせください ※4～5ヶ月（通常）、状況によって変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例	ウエハ洗浄、マスク洗浄