ワッティー株式会社 ALD（原子層堆積）装置

基本情報ALD（原子層堆積）装置

【オプション例】
・プロセス排気用除外設備
・マニュアルハンドリングから自動搬送システムまで対応
・不活性ガス用ピュリファイア
・プリカーサボトルサイズの選択
・お客様の仕様にあわせカスタマイズ化
・低価格のＡＬＤ装置仕様っもご用意

【装置概要】
・到達圧力（プロセス時）：≦7Pa
・成膜温度：400℃（600℃対応ヒータ開発中）
・基本構成サイズ：2160×890×1940ｍｍ
プリカーサ本数：最大５本

【成膜応用事例】
Al₂O₃ TiO₂ HfO₂ ZrO₂ SiO2 Ta2O5 TiN Sin 他膜種も対応致します。

【ALD受託成膜サービス】
弊社、相模原事業部内のALD成膜装置を使用し、受託成膜を行っております。ご要望のプリカーサによる成膜をお手伝いさせていただきます。お客様立ち合いによるライブデモや、ご希望のレシピ、パラメータによる比較評価等、あらゆるニーズにお応えします。
成膜後の評価業務にもお応えいたします。
定期的な少量Lotでの受託生産にも応じますのでお気軽にお問合せください。

• お問い合わせ

取扱企業ALD（原子層堆積）装置

ワッティー株式会社

センサー事業部ではフロートスイッチ、レベルスイッチ、レベルセンサなど 呼び方は様々ですが、液体の水位制御に最適な磁気式、光学式、電極式、 超音波式を応用した液面センサをご提案します。 熱システム事業部では主に半導体製造装置や医療器具向けの 高精度なヒータの設計・製作、ALD成膜装置の製造販売・受託作業等を行っております。 お客さまの希望に合わせた設計から生産までワッティーにお任せください。 【取扱製品】 ・窒化アルミ（セラミック）ヒータ ・シリコンラバーヒータ ・ポリイミドヒータ ・マイカヒータ ・カートリッジヒータ ・ヒートエクスチェンジャー（ガス加熱器） ・マントルヒータ（ジャケットヒータ） ・イージートレースヒータ ・テープヒータ ・シリコンベルトヒータ ・ヒータASSY ・ユニットASSY ・ALD（原子層堆積）装置 ・ALD受託成膜サービス​

TEL・住所

• この企業の製品・サービス一覧を見る(35件)

• 特設サイト
• 公式サイト