エキシマレーザ、UV-YAGレーザに対応！DUV/UV用オプティクス製品をご紹介
当社では、半導体検査、レーザーアニール、微細加工等のアプリケーションに
適した『DUV/UV用オプティクス製品』を取り扱っております。
リソグラフィから高出力加工まで、幅広い用途で高い均一化性能を実現した
「ホモジナイザユニット」や「フライアイ」などをラインアップ。
Å(オングストローム)オーダーの高品位研磨技術で、エキシマレーザや
UV-YAGレーザに対応いたします。
【特長】
■エキシマレーザ、UV-YAGレーザ対応
■Å(オングストローム)オーダーの高品位研磨技術
■CaF2、合成石英対応
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報DUV/UV用オプティクス製品
【ラインアップ】
■ホモジナイザユニット
■フライアイ
■投影レンズユニット
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■半導体検査 ■レーザーアニール ■微細加工等のアプリケーション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログDUV/UV用オプティクス製品
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