超高速電子ビーム描画技術・要素技術の開発・製造・コンサルティング！微細加工技術を通して社会に貢献
株式会社PARAMは、電子ビームを用いたウェハ直接描画に使用する並列型
マルチコラム・マルチビームを用いた電子ビーム技術開発会社です。
近い将来、微細加工技術は5nm以下が必要とされ、用途は人工知能チップはじめ
多くの分野で、開発から量産技術として必要とされています。
当社は各種電子ビーム要素技術と関連技術で皆さまのお役に立てるように
精一杯尽力いたします。
【事業内容】
■真空用オゾン供給器・除外器の製造販売
■電子ビームコラムの設計・製造・開発受託
■電子ビーム制御用電子回路の開発受託
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報株式会社PARAM 会社案内
【電子線高速描画システム技術】
■マルチビームマルチコラムシステム
■高輝度電子銃
■小型レンズ
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