標準スペクトルと比較することで結合状態を推定!EPMAによる状態分析をご紹介
EPMAによる状態分析では、酸化物やケイ酸塩の化学結合状態(イオン価、
結晶構造、配位数)の異なりから、特性X線ピーク波長に変化(シフトや波形)が
生じることを利用し、標準スペクトルと比較することで結合状態を推定します。
2種類の銅酸化物の識別において、黒色CuOと赤色Cu2Oの色彩による識別が
困難な場合、特に電子顕微鏡が必要なミクロな対象物に対して、EPMAによる
酸化状態の把握が可能です。
また、Al表面の薄い酸化層の測定には最表面分析手法のXPSが有効ですが、
異物等の微小物や塊状物、バルク、複合材等に対して、EPMAによる酸化状態の
把握ができます。
【装置仕様】
■日本電子(株)製 Jeol-8200
■分析方式:波長分散型X線分析(WDX)
■分析可能元素:B~U
■エネルギー分解能:20eV(EDXは約130eV)
■検出限界:0.01%~
■最大試料寸法:100x100mm
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基本情報EPMAによる状態分析
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